美国Kimball Physics,电子枪系统,中等能量（最大 30 keV),EGH-8103 / EGPS-8103
Kimball Physics 是电子枪（束）系统的领先供应商，其设计适用于各种超高真空 （UHV） 表面物理、空间物理和加工应用。喷枪可以聚焦小光斑尺寸，用于 X 射线生产、焊接和 RHED 等应用;或用于泛光束，用于电荷中和、电子束擦洗、空间模拟和辐射损伤研究。
操作范围
- 能量范围：1 eV 至 100 keV
- 光束电流范围：1 nA 至 20 mA
- 光斑尺寸范围：15 μm（聚焦柱）至 500+ mm（泛光光束）
性能
- 束流稳定性：反馈稳定发射电流控制;优于每小时 ± 0.1%
- 能量稳定性：±每小时 0.01%，全输出时每 8 小时± 0.02%，以最大限度地减少色差
方便
- 客户可更换的点火装置
- 全运行期间的机械对中
- 可存储控件设置
- 电脑遥控器/计量
运营能力
描述
可聚焦、高能电子束，小光斑尺寸选项可达 60 μm
10 keV 至 100 keV
应用：
功能/选项：
- 小光斑尺寸低至 60 μm
- 光束电流高达 1 mA
- 静磁聚焦
- 静磁偏转
- 磁性透镜
- 脉冲能力
- 运行期间的内部对准
- 用户可更换的点火装置
- 电脑 / 遥控器
- 差速泵送
能量范围：10 keV 至 100 keV
光束电流/光斑尺寸：
标准：10 nA 至 100 μA / 标准：60 μm 至 10 mm
大电流：10 nA 至 1 mA / 大电流：500 μm 至 10 mm
安装：6.0“ CF 安装
Kimball Physics EGH-8103 电子枪及其匹配的 EGPS-8103 电源是一个完整的子系统，可以连接到用户的真空系统并打开。它可以在非常广泛的能量、电流和功率范围内传递电子。EGH-8103 可用于空间材料测试、辐射研究、半导体研究、X 射线产生和等离子体激发。
该枪使用难熔金属或六硼化镧 （LaB6） 阴极产生高能、可聚焦的小光斑电子束。束流能量和束流都可以在很宽的范围内独立调节;能量从 10 keV 到 100 keV，电流从 10 nA 到 1 mA。电子束可以通过控制网格的输入信号进行脉冲传输。
该喷枪具有可调节的阴极馈通组件，允许点火装置相对于阳极和色谱柱进行机械对准。这种对准可以在喷枪在光束打开的情况下运行时实时完成。
喷枪设计为源区域提供差动泵送，源室上有一个 4.5 英寸 CF 法兰，用于连接涡轮分子泵。有三个 2.75 英寸 CF 法兰，用于电离计和其他选项。该喷枪通常安装在 6.0 英寸的 CF 法兰上，插入长度为零，即不会延伸到真空室中。
