美国Kimball Physics,电子枪系统,中等能量（最大 30 keV),EGG-3101 / EGPS-3101
Kimball Physics 是电子枪（束）系统的领先供应商，其设计适用于各种超高真空 （UHV） 表面物理、空间物理和加工应用。喷枪可以聚焦小光斑尺寸，用于 X 射线生产、焊接和 RHED 等应用;或用于泛光束，用于电荷中和、电子束擦洗、空间模拟和辐射损伤研究。
操作范围
- 能量范围：1 eV 至 100 keV
- 光束电流范围：1 nA 至 20 mA
- 光斑尺寸范围：15 μm（聚焦柱）至 500+ mm（泛光光束）
性能
- 束流稳定性：反馈稳定发射电流控制;优于每小时 ± 0.1%
- 能量稳定性：±每小时 0.01%，全输出时每 8 小时± 0.02%，以最大限度地减少色差
方便
- 客户可更换的点火装置
- 全运行期间的机械对中
- 可存储控件设置
- 电脑遥控器/计量
运营能力
描述
小光斑准直光束，运行期间对准，更高电流选项 – 高达 1 mA
100 eV 至 10 keV
应用：
- 一般真空物理实验
- 空间物理实验
- 试样加热
- 电子衍射
- 荧光粉研究
- MBE RHEED 研究
功能/选项：
- 全新模块化设计
- 运行时的内部对中
- 准直梁
- 小光斑选项
- 高达 1 mA 的更高电流选项
- 静电聚焦和偏转
- 消隐、脉冲、光栅
- 可旋转 2.75 英寸 CF 安装
- UHV 兼容且可烘烤
- 电脑 / 遥控器
- 法兰多路复用器灵活性
- 用户可更换的点火装置
- 安装式气动法拉第杯
能量范围：100 eV 至 10 keV
光束电流/光斑尺寸：
标准：10 nA 至 100 μA / 标准：0.5 mm 至 25 mm
小光斑选项：1 nA 至 10 μA / 60 μm 至 10 mm
高电流选项：1 μA 至 1 mA / 大电流选项：1.5 mm 至 25 mm
安装：2.75“ CF
Kimball Physics EGG-3101 电子枪及其匹配的 EGPS-3101 电源是一种多用途模块化电子枪，应用范围广泛。EGG-3101 / EGPS-3101 是一个完整的子系统，可连接到用户的真空系统并启动。
使用六硼化镧阴极的小光斑选项，该喷枪可提供低至 60 μm 的光斑。使用大电流选项，可以获得高达 1 mA 的光束电流。
该枪能够产生准直小点或泛光电子束。束流、束流能量和光斑尺寸都可以在很宽的范围内独立调节。能量可以在 100 eV 到 10 keV 之间变化。光束电流和光斑尺寸范围取决于规格表中所示的系统选项。脉冲、光束消隐和光栅也作为选项提供。
该喷枪具有可调节的阴极馈入组件，当喷枪在光束打开的情况下以全电压运行时，允许点火装置相对于阳极和柱的机械对准。
EGG-3101 的模块化设计允许用户更换闪光装置组件或镜头组件。点火装置（包括阴极、阴极支架和 Wehnelt 孔径）可由用户更换，无需将喷枪从真空室中取出。阳极也很容易更换。此外，阴极到阳极的间距可在内部调节，以改变电子束的空间电荷效应或透视。
