美国Kimball Physics,电子枪系统,中等能量（最大 30 keV),EGA-1012 / EGPS-1012

操作范围

• 能量范围：1 eV 至 100 keV
• 光束电流范围：1 nA 至 20 mA
• 光斑尺寸范围：15 μm（聚焦柱）至 500+ mm（泛光光束）

性能

• 束流稳定性：反馈稳定发射电流控制;优于每小时 ± 0.1%
• 能量稳定性：±每小时 0.01%，全输出时每 8 小时± 0.02%，以最大限度地减少色差

方便

• 客户可更换的点火装置
• 全运行期间的机械对中
• 可存储控件设置
• 电脑遥控器/计量

运营能力

• 快速脉冲/光束消隐
• 偏转 / 光栅
• 枪式法拉第杯

型号 #： EGA-1012 EGPS-1012

描述

大电流、中等直径、低能量电子束

5 eV 至 1000 eV

应用：

• 表面物理研究
• 真空物理实验
• 电荷中和
• 电子解吸
• 表面清理
• 荧光粉测试
• 电离实验
• 半导体加工

功能/选项：

• 光束电流高达 2mA
• Feedback Stabilized Emission Current
• 用户可更换的点火装置
• UHV 兼容 / 可烘烤
• 电脑 / 遥控器
• 光束脉冲选项

能量范围：5 eV 至 1k eV
光束电流：1 μA 至 2 mA
光斑尺寸：10 mm 至 25 mm（无聚焦能力）
安装：2.75“ CF
特点/选项：泛光光束、脉冲、双网格

Kimball Physics EGA-1012 电子枪及其配套的 EGPS-1012 电源，旨在用于各种超高真空 （UHV） 物理实验、表面物理和需要低能量高束流的加工应用。它是一个完整的子系统，随时可以连接和打开。光束能量、光束电流和光束发散度都是可独立调节的。EGA-1012 电子枪使用空间电荷受限的氧化物涂层阴极来产生均匀的泛光光束。这种设计允许产生低能量和极低电流的光束。

全程采用 UHV 技术。电子枪可在高达 350°C 的温度下烘烤，无需电缆。使用法拉第杯时，最大值为 65^oC 除非被删除。

标准阴极是一个大电流、坚固的钇涂层圆盘 （Y₂O₃).阴极在寒冷时不会因反复暴露在大气气体或水蒸气中而损坏。该喷枪可以在 10 级真空中运行^-11torr 到 10^-5托。阴极寿命是真空条件和束流与阴极温度相关的函数。在良好真空下，低电流下的阴极寿命可能长达数百小时，甚至超过一千小时。