美国Kimball Physics,电子枪系统,中等能量（最大 30 keV),EFG-7 / EGPS-2017
Kimball Physics 是电子枪（束）系统的领先供应商，其设计适用于各种超高真空 （UHV） 表面物理、空间物理和加工应用。喷枪可以聚焦小光斑尺寸，用于 X 射线生产、焊接和 RHED 等应用;或用于泛光束，用于电荷中和、电子束擦洗、空间模拟和辐射损伤研究。
操作范围
- 能量范围：1 eV 至 100 keV
- 光束电流范围：1 nA 至 20 mA
- 光斑尺寸范围：15 μm（聚焦柱）至 500+ mm（泛光光束）
性能
- 束流稳定性：反馈稳定发射电流控制;优于每小时 ± 0.1%
- 能量稳定性：±每小时 0.01%，全输出时每 8 小时± 0.02%，以最大限度地减少色差
方便
- 客户可更换的点火装置
- 全运行期间的机械对中
- 可存储控件设置
- 电脑遥控器/计量
运营能力
描述
50 eV 至 5 keV
应用：
功能/选项：
- 参数可控性广
- 泛光光束或窄角光束
- 静电聚焦
- 偏转、光栅、脉冲
- 可拆卸喷枪
- 电脑 / 遥控器
能量范围：50 eV 至 5k eV
光束电流：1 nA 至 100 μA
光斑尺寸：1 mm 至 100 mm
安装：2.75 英寸（23/4 英寸）CF，可拆卸选项
特点/选项：泛光光束或窄角光束、静电聚焦、偏转、光栅、脉冲
Kimball Physics EFG-7 电子枪及其匹配的 EGPS-2017 电源旨在用于各种超高真空 （UHV） 物理实验、表面物理实验和加工应用。它是一个完整的子系统，随时可以连接和打开。光束能量、光束电流和光斑尺寸可在很宽的范围内独立调节。
EFG-7 电子枪使用难熔金属阴极产生均匀的泛光光束。枪式设计允许产生低能量和极低电流的光束。5 keV 型 EFG-7 可产生 1 nA 至 100 μA 的束流和 50 eV 至 5 keV 的能量。
定心偏转、光栅和脉冲均作为选项提供。由于该设计已优化为泛洪枪，并使用圆柱形 4 极偏转器，因此当光束聚焦到一个小点时，偏转像差可能会很严重。
全程采用 UHV 技术。该喷枪可以在 10 级真空中运行-11torr 最多 10-5torr 用于标准 Ta 盘阴极。电子枪可在去除电缆后烘烤至 350°C。
