美国Kimball 电子束发生系统电子枪电子源 FRA-2X1-2 / EGPS-1011

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描述

来自紧凑型源的广角低能电子束

5 电子伏特至 1000 电子伏特

应用：

・电荷中和

・表面物理研究

・电离实验

・表面清洗

特点 / 选项：

・均匀漫射束

・紧凑型设计（直径 13 毫米 × 长度 17 毫米）

・可变安装配置

・低能量下的中等电流

・可重建组件

・脉冲选项

能量范围：5 电子伏特至 1 千电子伏特

束流：1 纳安至 400 微安

光斑尺寸：20 毫米至 50 毫米

安装方式：2.75 英寸（2 又 3/4 英寸）CF 法兰或未安装

特点 / 选项：漫射束、可变安装配置、脉冲功能

FRA-2X1-2 电子枪及其配套的 EGPS-101 电源，适用于多种超高真空表面物理、电荷中和及加工应用。它是一个完整的子系统，可直接连接到用户的真空系统并启动。束能量和束流均可在较宽范围内调节。

FRA-2X1-2 电子枪采用难熔金属阴极来产生均匀的 flood 束。该阴极专为低能量分散而设计。这种电子枪设计能够产生低至极低能量的电子束，且束流非常小。FRA-2X1-2 在低至 5 电子伏特的能量下可产生适度的束流。在 5 电子伏特时，其最大束流可达 50 微安；在 1000 电子伏特时，最大束流可达 400 微安。

FRA-2X1-2 低能电子 flood 枪采用平面三极管设计。加速栅极可增强低能量下的束流。在该栅极处可能产生的二次电子无法离开电子枪，因为栅极上施加了相对于阴极的正电势（0 至 + 100 伏）。

美国Kimball 电子束发生系统电子枪电子源 FRA-2X1-2 / EGPS-1011

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