美国 Kimball Physics 电子枪 电子束发生系统 EGH-8103 EGPS-8103
描述：
可聚焦高能电子束，光斑尺寸小至60μm
10keV至100keV
应用：
普通真空物理学
辐射研究
地面轰炸
半导体研究
生物样本辐照
X射线生成
等离子体激发
荧光研究
表面物理研究
功能/选项：
小斑点尺寸低至60μm
束电流高达1mA
静磁聚焦
静磁偏转
磁性透镜
脉冲能力
操作过程中的内部对齐
用户可更换的射击装置
计算机/远程控制
差动泵
能量范围：10keV至100keV
束流/光斑尺寸：
标准：10 nA至100µA/标准：60µm至10 mm
大电流：10 nA至1 mA/大电流：500µm至10 mm
安装：6.0英寸CF安装
Kimball Physics EGH-8103电子枪及其配套的EGPS-8103电源是一个完整的子系统，可以连接到用户的真空系统并打开。它可以在非常广泛的能量、电流和功率范围内输送电子。EGH-8103在空间材料测试、辐射研究、半导体研究、x射线产生和等离子体激发方面有应用。
该枪使用难熔金属或六硼化镧（LaB6）阴极来产生高能、可聚焦、小点的电子束。束能量和束电流都可以在宽范围内独立调节；能量从10keV到100keV，电流从10nA到1mA。电子束可以通过控制栅极的输入信号进行脉冲。
该枪具有可调节的阴极馈通组件，允许点火单元相对于阳极和柱进行机械对准。这种对准可以在枪打开光束的情况下实时完成。
喷枪设计提供了源区的差动泵送，源室上有一个4.5英寸的CF法兰，用于连接涡轮泵。电离计和其他选项有三个2.75英寸CF法兰。喷枪通常安装在6.0英寸CF法兰上，插入长度为零，不延伸到真空室中。
