美国 Kimball Physics 电子枪 电子束发生系统 EGH-6002 / EGPS-6002
描述：
可聚焦的小光斑尺寸高能电子束
1keV至50keV
应用：
普通真空物理学
辐射研究
地面轰炸
半导体研究
生物样本辐照
X射线生成
等离子体激发
荧光研究
表面物理研究
功能/选项：
中等束流
小光斑尺寸
静磁聚焦
静磁偏转
磁性透镜
脉冲能力
操作时内部对齐
用户可更换的射击装置
5英寸或6.0英寸CF安装
特高压技术/可烘烤
计算机/远程控制
能量范围：1keV至50keV
束流：10 nA至100µA
光斑尺寸：0.5毫米至100毫米
安装：4.5英寸CF或6.0英寸CF
Kimball Physics EGH-6002电子枪及其配套的EGPS-6002电源是一个完整的子系统，可以连接到用户的真空系统并打开。它可以在非常广泛的能量、电流和功率范围内输送电子。EGH-6002可用于从半导体研究到二次电子发射研究的许多不同应用。
该枪可以产生高能、可聚焦、小点的电子束。束能量和束电流都可以在宽范围内独立调节；1keV至50keV的能量和10nA至100μA的电流是标准的。电子束可以通过控制栅极的输入信号进行脉冲。
枪的可调光学元件可以适应不同的发散和不同的工作距离。光斑尺寸可以从0.5毫米到10厘米不等。磁聚焦透镜和磁定心偏转提供了低像差的光束控制。此外，阴极到阳极的间距可以在内部调节，以改变导电性。
该枪具有可调节的阴极馈通组件，允许点火单元相对于阳极和柱进行机械对准。这种对准可以在枪在全电压下打开光束的情况下实时完成。发射单元的弹药筒（包括阴极、阴极安装架和文纳尔孔径）是用户可更换的，甚至无需从真空室中取出枪。用过的点火装置可以退回工厂进行重建。
