美国 Kimball Physics 电子枪 电子束发生系统 EFG-7 EGPS-2017
描述：
聚焦或均匀广角低能电子束
50 eV至5 keV
应用：
表面物理研究
真空物理实验
电荷中和
电子解吸
表面擦洗
荧光粉测试
电离实验
半导体加工
功能/选项：
可广泛控制的参数
泛光梁或窄角梁
静电聚焦
偏转、光栅、脉冲
可拆卸枪
计算机/远程控制
能量范围：50 eV至5k eV
束流：1 nA至100µA
光斑尺寸：1毫米至100毫米
安装：2.75英寸（2¾英寸）CF，可拆卸选项
功能/选项：泛光光束或窄角光束、静电聚焦、偏转、光栅、脉冲
Kimball Physics EFG-7电子枪及其配套的EGPS-2017电源可用于各种超高真空（UHV）物理实验、表面物理实验和加工应用。它是一个完整的子系统，可以随时连接和打开。光束能量、光束电流和光斑尺寸可以在很宽的范围内独立调节。
EFG-7电子枪使用难熔金属阴极产生均匀的泛光束。枪的设计允许产生低能量、低电流的光束。5 keV模型EFG-7产生1 nA至100μa的束流和50 eV至5 keV的能量。
定心偏转、光栅和脉冲都是可选的。由于该设计已被优化为泛光枪，并使用了圆柱形四极偏转器，因此当光束聚焦到一个小点时，偏转像差可能会很严重。
特高压技术贯穿始终。对于标准Ta盘阴极，该枪可以在10-15torr至10-5torr的真空中运行。拆下电缆后，电子枪可烘烤至350°C。
