美国 Kimball Physics 电子枪 电子束发生系统 EFG-7 EGPS-1017

EFG-7 型电子枪及其配套的 EGPS-1017 型电源，适用于各类超高真空（UHV）物理实验、表面物理实验及加工应用。该设备为完整子系统，可直接连接并启动使用。其束流能量、束流强度及光斑尺寸均可在宽范围内独立调节。

EFG-7 型电子枪采用难熔金属阴极产生均匀的泛射电子束。该电子枪的设计可实现低能量、极低电流的电子束输出。标准款 EFG-7 可产生 1 纳安至 100 微安的束流，能量范围为 10 电子伏特至 1500 电子伏特；选配大电流模块后，束流最高可达 1 毫安。

对中、偏转、光栅扫描及脉冲调制功能均为可选配置。由于该设备经优化设计为泛射电子枪，并采用圆柱形四极偏转器，当电子束聚焦为微小光斑时，偏转像差会较为显著。

设备全程采用超高真空技术。标准钽圆盘阴极款电子枪可在 10⁻¹¹ 托至 10⁻⁵托的真空环境下运行。拆除线缆后，电子枪可耐受 350℃烘烤；若配备法拉第杯，最高耐受温度为 65℃，移除法拉第杯则不受此限。