Kimball Physics电子枪(束)系统通常包括配套的电源,提供一个完整的子系统,用户只需将其连接到真空硬件并开启即可使用。
在许多系统中,束流能量、束流电流和点大小可以在其宽范围内独立调节,并且可以通过可选的Labview™计算机接口进行控制。
我们的大多数系统在真空条件下兼容超高真空(UHV),可承受高达 10^-11 torr 的真空度。根据系统的不同,提供各种阴极选项,包括:
- 氧化钡圆盘(BaO,低光、低能量扩展,最小真空度 1×10^-7 torr)
- 氧化钇涂层铱圆盘(Y2O3 铱,坚固耐用,真空度可达 10^-4 torr,能承受短时间的真空丧失)
- 钽圆盘阴极
- 单晶六硼化镧(LaB6,小点、亮度高,最小真空度 1×10^-7 torr)
Kimball Physics的产品已经发展成一系列电子束系统,我们将其大致划分为低能(最高 5 keV)、中能(最高 30 keV)和高能(最高 100 keV)系统。许多系统源自定制项目,这仍然是我们关注的主要领域之一。
高能系统的能量范围从 1 keV 到 100 keV,电流范围从 1 nA 到 2 mA,点大小从 50 微米到 500 mm。
以下表格提供了高能电子枪系统的规格比较: