Kimball Physics离子枪系统,或离子源,广泛应用于表面物理学、空间物理学、真空物理学、电荷中和、检测校准、二次离子质谱(SIMS)和分子束外延(MBE)的离子注入等领域。
工作范围
- 能量范围: 10 eV 至 20 keV
- 束流电流范围: 1 nA 至 2 μA
- 光斑尺寸范围: 500 μm 至 25 mm
多功能性
- 灵活的控制器: 提供独立的光纤控制和仪表功能,如离子能量、源、电子能量、场控制、提取、聚焦、X-Y 偏转和电子电流控制。
- 多种碱金属离子源可选: 允许选择不同的离子种类。
性能
- 束流电流稳定性: 碱金属源下,使用发射电流控制时稳定性为 ±1.0% 每小时;未使用 ECC 的情况下为 ±10% 每小时(加热后)。
- 能量稳定性: 输出全功率时,能量稳定性为 ±0.01% 每小时,±0.02% 每 8 小时。
操作能力
- 快速电容束或双格栅脉冲
- 偏转/扫描
- 枪装法拉第杯
- 能量范围: 50 eV 至 5 keV
- 束流电流: 1 nA 至 2 µA
- 光斑尺寸: <1 mm 至 20 mm
- 工作距离: 10 mm 至 200 mm
- 能量范围: 10 eV 至 1 keV
- 束流电流: 1 nA 至 100 nA
- 光斑尺寸: 1 mm 至 5 mm
- 工作距离: 10 mm 至 200 mm
- 安装方式: 2.75″CF 或可拆卸式
- 能量范围: 1 keV 至 20 keV
- 束流电流: 1 nA 至 2 µA
- 光斑尺寸: 500 μm 至 25 mm
- 工作距离: 100 mm 至 1000 mm