美国Kimball Physics 离子枪系统 离子源 IGS-4 IGPS-2014

Kimball Physics离子枪系统

Kimball Physics离子枪系统,或离子源,广泛应用于表面物理学、空间物理学、真空物理学、电荷中和、检测校准、二次离子质谱(SIMS)和分子束外延(MBE)的离子注入等领域。

工作范围

  • 能量范围: 10 eV 至 20 keV
  • 束流电流范围: 1 nA 至 2 μA
  • 光斑尺寸范围: 500 μm 至 25 mm

多功能性

  • 灵活的控制器: 提供独立的光纤控制和仪表功能,如离子能量、源、电子能量、场控制、提取、聚焦、X-Y 偏转和电子电流控制。
  • 多种碱金属离子源可选: 允许选择不同的离子种类。

性能

  • 束流电流稳定性: 碱金属源下,使用发射电流控制时稳定性为 ±1.0% 每小时;未使用 ECC 的情况下为 ±10% 每小时(加热后)。
  • 能量稳定性: 输出全功率时,能量稳定性为 ±0.01% 每小时,±0.02% 每 8 小时。

操作能力

IGS-4 IGPS-2014

  • 能量范围: 50 eV 至 5 keV
  • 束流电流: 1 nA 至 2 µA
  • 光斑尺寸: <1 mm 至 20 mm
  • 工作距离: 10 mm 至 200 mm

ILG-6 IGPS-1016

  • 能量范围: 10 eV 至 1 keV
  • 束流电流: 1 nA 至 100 nA
  • 光斑尺寸: 1 mm 至 5 mm
  • 工作距离: 10 mm 至 200 mm
  • 安装方式: 2.75″CF 或可拆卸式

IMG-4212-IGPS-3212

  • 能量范围: 1 keV 至 20 keV
  • 束流电流: 1 nA 至 2 µA
  • 光斑尺寸: 500 μm 至 25 mm
  • 工作距离: 100 mm 至 1000 mm

Related posts