美国KIMBALL PHYSICS 电子枪 电子束发生系统
Kimball Physics 电子枪（束）系统通常包括一个匹配的电源，提供一个完整的子系统，可以直接连接到用户的真空硬件并启用。
许多系统的束能量、束流和点尺寸可以在其宽范围内独立调节，并且可以通过可选的 Labview™ 计算机接口进行控制。
我们的多数系统在超高真空（UHV）条件下兼容，适用于最高可达 10^-11 torr 的真空环境。
根据系统的不同，提供多种阴极选项，包括：
- 氧化钡盘（BaO，低光照、低能量扩展，最小真空 1×10^-7 torr）
- 镀钇铱盘（Y2O3 铱，坚固，真空条件可达 10^-4 torr，可能耐受短时间的真空丧失）
- 钽盘阴极
- 单晶铈六硼化物（LaB6，小点、高亮度，最小真空 1×10^-7 torr）
Kimball Physics 的产品已发展成为广泛的电子束系统，我们将其任意划分为低能（最高 5 keV）、中能（最高 30 keV）和高能（最高 100 keV）系统。许多系统起源于定制项目，这仍然是我们关注的一个重要领域。
低能系统，能量范围从 1 eV 到 5 keV，电流范围从 1 nA 到 2 mA，点尺寸范围从 0.5 mm 到 100 mm，现已提供。
下表提供了电子枪系统规格的对比，以及每个低能电子枪系统的典型应用和特点。
FRA-2X1-2 EGPS-1011
ELG-2 EGPS-1022
EGA-1012 EGPS-1012
EFG-7 EGPS-1017
EFG-7 (HighCurrent) EGPS-1017
EFG-7 EGPS-2017
EGL-2022 EGPS-2022
低能电子枪系统 (<5 keV)
| 电子枪系统 | FRA-2X1-2 EGPS-1011 | ELG-2 EGPS-1022 | EGA-1012 EGPS-1012 | EFG-7 EGPS-1017 | EFG-7 (高电流) EGPS-1017 | EFG-7 EGPS-2017 | EGL-2022 EGPS-2022 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 能量范围 | 5 eV | 1 eV | 5 eV | 1 keV | 1.5 keV | 10 eV | 5 keV |
| 电流范围 | 1 nA | 1 nA | 1 μA | 2 mA | 100 μA | 100 μA | 100 μA |
| 点尺寸 | 2 mm | 0.5 mm | 1 mm | 5 mm | 100 mm | 25 mm | 100 mm |
| 工作距离（最小） | 20 mm | 10 mm | 25 mm | 1 mm | 1 mm | 25 mm | 25 mm |
| 工作距离（最大） | 50 mm | 50 mm | 100 mm | 200 mm | 200 mm | 200 mm | 200 mm |
| 束流均匀性 | 高斯 | 高斯 | 高斯 或 均匀 | 高斯 | 高斯 或 均匀 | 高斯 或 均匀 | 高斯 或 均匀 |
说明：
- 能量范围：电子枪系统支持的电子束能量范围。
- 电流范围：电子枪系统支持的电子束电流范围。
- 点尺寸：电子束的最小和最大点尺寸。
- 工作距离：系统支持的最小和最大工作距离。
- 束流均匀性：束流的分布特性，通常为高斯分布或均匀分布。
