Kimball Physics 电子枪 离子枪 真空产品 电子枪系统 中等能量（最大 30 keV）中能电子枪系统 （<30 keV）

Kimball Physics 电子枪（束流）系统通常包括一个匹配的电源，以提供完整的子系统，该子系统可以连接到用户的真空硬件并打开。

许多系统上的束流能量、束流和光斑大小都可以在其宽范围内独立调节，并且可以使用可选的 Labview 进行控制^TM计算机接口。

我们的大多数系统在真空条件下都兼容 UHV（超高真空）高达 10^-11托。

根据系统的不同，可以使用各种阴极选项，包括：

1. 1. 氧化钡盘（BaO，低光，低能量扩散，最小真空度 1×10^-7托尔）
   2. 钇涂层铱片 （Y₂O₃铱，坚固耐用，真空度高达 10^-4Torr，可能在短暂的真空损失中幸存下来）
   3. 钽盘阴极
   4. 单晶六硼化镧 （LaB₆， 小光斑， 高亮度， 最小真空度 1×10^-7托尔）

Kimball Physics 的产品已经发展成为范围广泛的电子束系统，我们将其武断地描述为低能量（高达 5 keV）、中等能量（高达 30 keV）和高能量（高达 100 keV）系统。许多系统都是从定制项目中诞生的，这仍然是我们关注的很大一部分。

中型能量系统，能量范围为 100 eV 至 30 keV，电流范围为 1 nA 至 5 mA，光斑尺寸为 60 微米至 450 mm。

下表提供了电子枪系统规格以及每种中等能电子枪系统的典型应用和功能的比较。

中能电子枪系统 （<30 keV）