Kimball Physics 电子枪系统 电子束源 电子源 聚焦型电子枪 泛光束电子源 表面物理研究 空间物理模拟

Kimball Physics 是超高真空（UHV）领域内领先的电子枪（电子束）系统供应商，其产品广泛应用于：

• 表面物理研究

• 空间物理模拟

• 加工与辐照工艺

电子枪可根据应用需求进行聚焦或形成“泛光束（Flood Beam）”：

• 聚焦型：适用于小光斑需求，如 X 射线产生、电子束焊接、RHEED 等

• 泛光型：适用于电荷中和、电子束清洗、空间辐照模拟、辐射损伤研究等

📊 工作范围（Range of Operation）

• 能量范围：1 eV ~ 100 keV

• 束流范围：1 nA ~ 20 mA

• 光斑尺寸：

  • 聚焦束最小至 15 μm

  • 泛光束可达 500 mm 以上

✅ 性能表现（Performance）

• 束流稳定性：采用反馈式发射电流控制，稳定度优于 ±0.1% / 小时

• 能量稳定性：

  • ±0.01% / 小时

  • ±0.02% / 8 小时（满输出时），以最小化色差（chromatic aberration）

🛠️ 操作便利性（Convenience）

• 用户可更换发射组件（firing units）

• 支持全功率下机械对准

• 控制设置可储存调用

• 支持计算机远程控制 / 读数

🔄 操作功能（Operational Capabilities）

• 快速脉冲 / 束流开关（Beam Blanking）

• 偏转 / 光栅扫描（Deflection / Rastering）

• 枪体集成法拉第杯（用于实时束流测量）

🔍 型号分类（按能量等级）

• 低能电子枪：< 5 keV

• 中能电子枪：< 30 keV

• 高能电子枪：< 100 keV