Kimball Physics 提供的离子枪(或称离子源)广泛应用于以下领域:
⚙️ 工作范围(Range of Operation)
能量范围:10 eV ~ 20 keV
束流范围:1 nA ~ 2 μA
束斑尺寸:500 μm ~ 25 mm
🔄 多功能性(Versatility)
灵活控制器:通过光纤独立控制和测量多个功能,包括:
离子能量
离子源功率
电子能量
场控(Field Control)
束流提取(Extract)
聚焦控制(Focus)
X-Y 偏转与扫描(Deflection / Rastering)
电子电流控制等
📈 性能表现(Performance)
束流稳定性:
使用 ECC(发射电流控制)时:±1.0% / 小时
不使用 ECC 的碱金属源:±10% / 小时(预热后)
能量稳定性:
±0.01% / 小时
±0.02% / 8 小时(满功率输出下)