Kimball 离子枪系统 离子源 表面物理 空间物理与等离子体物理 真空物理实验 电荷中和 探测器校准 二次离子质谱 分子束外延 离子注入

Kimball Physics 提供的离子枪(或称离子源)广泛应用于以下领域:


⚙️ 工作范围(Range of Operation)

  • 能量范围:10 eV ~ 20 keV

  • 束流范围:1 nA ~ 2 μA

  • 束斑尺寸:500 μm ~ 25 mm


🔄 多功能性(Versatility)

  • 灵活控制器:通过光纤独立控制和测量多个功能,包括:

    • 离子能量

    • 离子源功率

    • 电子能量

    • 场控(Field Control)

    • 束流提取(Extract)

    • 聚焦控制(Focus)

    • X-Y 偏转与扫描(Deflection / Rastering)

    • 电子电流控制等

  • 离子种类选择:可选碱金属离子源(如 Li⁺、Na⁺、K⁺ 等),以生成不同种类的离子束


📈 性能表现(Performance)

  • 束流稳定性

    • 使用 ECC(发射电流控制)时:±1.0% / 小时

    • 不使用 ECC 的碱金属源:±10% / 小时(预热后)

  • 能量稳定性

    • ±0.01% / 小时

    • ±0.02% / 8 小时(满功率输出下)


🛠️ 操作能力(Operational Capabilities)

  • 快速电容式束流脉冲双栅格脉冲模式

  • 电子束偏转与扫描功能

  • 枪体集成法拉第杯(用于实时束流测量


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