Kimball Physics 离子枪系统或离子源

Kimball Physics 离子枪系统离子源

Kimball Physics 离子枪系统或离子源用于表面物理空间物理真空物理电荷中和、检测校准、二次离子质谱和 MBE 离子注入

作范围

  • 能量范围:10eV 至 20 keV
  • 光束电流范围:1 nA 至 2 μA
  • 光斑尺寸范围:500 μm 至 25 mm

多面性

  • 灵活的控制器:独立的光纤控制和计量功能,如离子能量、源、电子能量、场控制、提取、聚焦、X – Y 偏转和电子电流控制。
  • 碱金属离子源的选择允许不同的离子种类。

性能

  • 束流稳定性:对于碱金属源,使用发射电流控制时每小时 ±1.0%,或在没有 ECC 的情况下预热后每小时 ±10%。
  • 能量稳定性:±每小时 0.01%,±满负荷时每 8 小时 0.02%。

运营能力

类别 特色图片


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