kimball physics EGH-6210/EGPS-6210电子枪描述
可聚焦的高能电子束,光斑尺寸小至50微米
1千电子伏至60千电子伏
应用:
- 普通真空物理学
- 辐射研究
- 表面轰击
- 半导体研究
- 生物样本辐射
- x射线产生
- 等离子体激发
- 荧光研究
- 表面物理研究
特性/选项:
- 小光斑尺寸低至50微米
- 中等电流束至5 mA
- 高达10毫安的高电流束
- 静磁聚焦
- 静磁束成形(可选)
- 静磁偏转
- 脉冲能力
- 操作过程中的内部对准
- 差动泵送
用户可更换的点火装置
能量范围:1千电子伏至60千电子伏
电子束电流:10安至5毫安
斑点尺寸:50米至10毫米
安装:2.75英寸(2英寸)CF
金博尔EGH-6210电子枪及其配套的EGPS-6210电源,是一个完整的子系统,可以连接到用户的真空系统并打开。它可以在非常宽的能量、电流和功率范围内输送电子。EGH-6210应用于空间材料测试、辐射研究、半导体研究、x射线产生和等离子体激发。
该枪使用单晶六硼化镧(LaB6)阴极以产生高能、可聚焦的小点电子束。射束能量和射束电流都可以在很宽的范围内独立调节;能量从1 keV到60 keV,电流从10 μA到5 mA。电子束可以由控制栅极的输入信号脉冲产生。
枪的可调光学系统可以适应不同的发散度和工作距离范围,适合于各种应用。磁聚焦透镜可以将光斑尺寸从10 mm降低到50 μm定心和可选的整形线圈提供了额外的电子束控制,允许用户偏转和整形电子束。整形通常导致椭圆光束,其两个轴可以独立地压缩或延伸。静磁聚焦透镜和偏转整形四极都产生低像差的结果。此外,阴极到阳极的间距是内部可调的,以改变导流能力。
该枪具有可调节的阴极馈通组件,该组件允许点火单元相对于阳极和柱进行机械对准。这种对准可以在枪在光束打开的情况下操作时实时完成。