kimball physics EGH-6002/EGPS-6002电子枪描述
可聚焦的小光点尺寸高能电子束
1千电子伏至50千电子伏
应用:
- 普通真空物理学
- 辐射研究
- 表面轰击
- 半导体研究
- 生物样本辐照
- x射线产生
- 等离子体激发
- 荧光研究
- 表面物理研究
特性/选项:
- 中等束流
- 小斑点尺寸
- 静磁聚焦
- 静磁偏转
- 磁透镜
- 脉冲能力
- 操作时的内部校准
- 用户可更换的点火装置
- 5英寸或6.0英寸CF安装
- UHV科技/烘焙
- 电脑/遥控器
能量范围:1千电子伏至50千电子伏
电子束电流:10 nA至100 A
斑点尺寸:0.5毫米至100毫米
安装:4.5英寸CF或6.0英寸CF
金博尔EGH-6002电子枪及其配套的EGPS-6002电源是一个完整的子系统，可以连接到用户的真空系统并打开。它可以在非常宽的能量、电流和功率范围内输送电子。EGH-6002可用于从半导体研究到二次电子发射研究的许多不同应用。
电子枪可以产生高能量、可聚焦的小光点电子束。射束能量和射束电流都可以在很宽的范围内独立调节；标准能量范围为1 keV至50 keV，电流范围为10nA至100μA。电子束可以由控制栅极的输入信号脉冲产生。
枪的可调光学系统可以适应不同的发散度和不同的工作距离。斑点的大小可以在0.5毫米到10厘米之间变化。磁聚焦透镜和磁性定心偏转提供低像差的束控制。此外，阴极到阳极的间距是内部可调的，以改变导流能力。
该枪具有可调节的阴极馈通组件，该组件允许点火单元相对于阳极和柱进行机械对准。当枪在满电压下操作且射束打开时，这种对准可以实时完成。发射单元弹药筒(包括阴极、阴极座和Wehnelt孔)是用户可更换的，甚至不需要从真空室中取出枪。用过的点火装置可以返回工厂重新组装。
