kimball physics EFG-7/EGPS-2017电子枪描述
聚焦或均匀广角低能电子束
50电子伏至5千电子伏
应用:
- 表面物理研究
- 真空物理实验
- 电荷中和
- 电子解吸
- 表面擦洗
- 磷光体测试
- 电离实验
- 半导体加工
特性/选项:
- 广泛可控的参数
- 泛光光束或窄角光束
- 静电聚焦
- 偏转、光栅、脉冲
- 可拆卸枪
- 电脑/遥控器
能量范围:50 eV至5k eV
电子束电流:1 nA至100 A
斑点尺寸:1毫米至100毫米
安装:2.75英寸(2英寸)CF，可拆卸选项
特性/选项:泛光束或窄角光束、静电聚焦、偏转、光栅、脉冲
金博尔物理EFG-7电子枪及其匹配的EGPS-2017电源，旨在用于各种超高真空(UHV)物理实验、表面物理实验和处理应用。它是一个完整的子系统，可以随时连接和启动。射束能量、射束电流和光斑尺寸可以在很宽的范围内独立调节。
EFG-7电子枪使用难熔金属阴极来产生均匀的泛光电子束。枪的设计允许产生低能量和非常低的电流的束。5千电子伏的EFG-7型产生1纳至100微安的束流和50千电子伏至5千电子伏的能量。
居中偏转、光栅扫描和脉冲都可以作为选项。因为该设计已被优化为泛光枪，并使用圆柱形4极偏转器，所以当光束被聚焦到一个小点时，偏转偏差会很严重。
UHV技术贯穿始终。这种枪可以在真空中从10-11高达10托-5标准钽圆盘阴极的托。拆下电缆后，电子枪可烘烤至350°C。
