描述
Kimball Physics ES-423GR保护环六硼化镧(LaB6) 阴极是一种高性能、电阻加热的热电子源。它目前用于许多亮度受限的电子光学系统:SEM、TEM、探针、电子光刻系统等。
晶体几何形状的设计类似于 LaB6 ES-423E 设计中带有微扁平尖端的圆锥形。然而,这种先进的设计优化了微平坦区域的发射,并通过利用额外的保护环结构抑制了倾斜锥形表面的发射,而无需来自 Wehnelt/grid 的高电场。
裸露的发射极表面直径范围为 10 μm 至 250 μm,标准直径为 25 μm。单晶 LaB6<100> 方向,安装在单件式无应力碳加热器棒的末端,并由碳套圈固定到位。附加的保护环孔径结构控制 LaB 的曝光6表面。
ES-423GR 型可提供带有 LaB 的定制配置6以 60º 或 90º 的锥角切割晶体,微平面尺寸范围为 10 μm 至 250 μm。The LaB6阴极可安装在标准 AEI 底座、Kimball Physics CB-104 陶瓷底座上或特定系统的各种定制底座上。
应用:
- 扫描电子显微镜
- 透射电子显微镜
- 电子光刻系统
- 电子加速器
- X 射线源
- 自定义应用程序
功能/选项:
- 保护环设计,优化了微平面的发射
- 延长使用寿命
- 在清洁真空中
工作数千小时 - 保证不会发生结构
安装故障
- 在清洁真空中
- 卓越的稳定性
- 精密加工的碳素安装
- 高耐过温性
- 高亮度/低能量扩散
- <100> 定向单晶
- 最佳质量 / 高纯度材料
- 发射电流密度高达 30 A/cm2
- 工作压力 < 10-7托
- 精确的 Microflats
- 卓越的光学元件
- 受控的源大小
- 提供标准直径
- 发射表面尺寸范围
- 提供定制尺寸
- 在 AEI 底座上,紧凑型 CB-104 底座或要求定制安装
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