描述
聚焦或均匀的广角低能电子束
50 eV 至 5 keV
应用：
- 表面物理研究
- 真空物理实验
- 电荷中和
- 电子解吸
- 表面清理
- 荧光粉测试
- 电离实验
- 半导体加工
功能/选项：
- 参数可控性广
- 泛光光束或窄角光束
- 静电聚焦
- 偏转、光栅、脉冲
- 可拆卸喷枪
- 电脑 / 遥控器
能量范围：50 eV 至 5k eV
光束电流：1 nA 至 100 μA
光斑尺寸：1 mm 至 100 mm
安装：2.75 英寸（23/4 英寸）CF，可拆卸选项
特点/选项：泛光光束或窄角光束、静电聚焦、偏转、光栅、脉冲
Kimball Physics EFG-7 电子枪及其匹配的 EGPS-2017 电源旨在用于各种超高真空 （UHV） 物理实验、表面物理实验和加工应用。它是一个完整的子系统，随时可以连接和打开。光束能量、光束电流和光斑尺寸可在很宽的范围内独立调节。
EFG-7 电子枪使用难熔金属阴极产生均匀的泛光光束。枪式设计允许产生低能量和极低电流的光束。5 keV 型 EFG-7 可产生 1 nA 至 100 μA 的束流和 50 eV 至 5 keV 的能量。
定心偏转、光栅和脉冲均作为选项提供。由于该设计已优化为泛洪枪，并使用圆柱形 4 极偏转器，因此当光束聚焦到一个小点时，偏转像差可能会很严重。
全程采用 UHV 技术。该喷枪可以在 10 级真空中运行-11torr 最多 10-5torr 用于标准 Ta 盘阴极。电子枪可在去除电缆后烘烤至 350°C。
通过打开上面“资源”选项卡中的详细 EFG-7 / EGPS-2017 PDF 规范文档了解更多信息。
