美国 Key High PEV-1-002 压电阀 电气体流量阀控制
主要高真空产品压电气体流量阀控制真空系统内的气体流量。PEV-1 结构紧凑，在几毫秒内响应，并为 PID 压力控制应用提供极其精确的气流。
Key High 的 PEV-1 需要 0-100 VDC 输入。阀门的阈值电压为20-30vdc，最大电压tage不超过100vdc。最大入口压力不应超过 50psig。
PEV-1 是一种故障安全（关闭）阀。如果断电，PEV-1 将保持关闭状态，直到电源恢复。
Key High 制造的所有阀门均使用 3 x 10-9 scc 的氦质谱仪进行泄漏测试，具有单气压差，没有可测量的泄漏。
特征
- 不锈钢结构
- 0 至 525 sccm
- 2毫秒响应时间
- 无过冲
- 1/4“ 世伟洛克®或 1/4” 公头 VCR® 接口
- 工作范围 +10° C 至 +60° C
| 部件号 | 描述 | |
|---|---|---|
PEV-1型 | 压电阀 1/4“ 世伟洛克®接头 | |
| PEV-1-录像机® | 压电阀 1/4“ 公头录像机® | |
| PEV-1-001 | 替换氟橡胶®密封件 | |
| PEV-1-002型 | 入口过滤器 2 微米 | |
| PEV-1-003 | RG-188 电缆 10 英尺，仅带一个配套连接器 | |
| PEV-1-004型 | 1/4“ FNPT 入口接头和 1/2” 外径管出口接头 |
