JEVAsys RGA-5H实验室级超高真空抽气系统
您是否正在寻找紧凑易操作的实验室用UHV抽气机组？
需要同时进行残余气体分析并加热样品？
我们提供完整解决方案。
JEVAsys RGA-5H残余气体分析系统是紧凑型实验室抽气单元的典范。该系统集成小型真空腔室、干式运行泵组及专用控制系统，并采用JEVAmet与ATMION系列的真空测量技术。
其模块化设计及多种测量控制模块的组合，可实现广泛的应用场景。
JEVAsys RGA-5H核心配置：
• DN63CF真空腔室（配集成式可加热样品台）
• 全不锈钢真空组件（金属密封）
• 泵组：无油涡旋泵HiScroll 6® + 涡轮分子泵HiPace 80
• 多模式抽气单元控制系统
• SRS RGA200残余气体分析仪
• 独立温控系统（组件/RGA/样品台）
• ATMION standard活性宽量程真空计
• JEVAmet VCU真空控制器（压力显示与阀门控制）
• 紧凑型19英寸机架（前级泵可独立放置）
Jevatec实验室级超高真空抽气系统、JEVAsys RGA-5H残余气体分析系统