JEVATEC JEVAsys® RGA-5H实验室真空泵站残余气体分析系统超高真空测量
您是否正在为实验室寻找一套结构紧凑、操作简便的超高真空（UHV）泵站？
您是否希望进行残余气体分析（RGA），并在分析过程中对样品进行加热？
没问题，我们有解决方案。
JEVAsys® RGA-5H 残余气体分析系统是一套用于实验室的紧凑型真空泵站示例系统。该系统主要由小型真空腔体、干式抽气系统以及专门设计的泵站控制系统组成。
在真空测量方面，系统采用了我们 JEVAmet® 和 ATMION® 系列的真空测量技术。
其一大特点在于：通过模块化结构设计以及多种测量与控制模块的组合，可实现多种不同的应用需求，灵活性极高。
JEVATEC JEVAsys® RGA-5H实验室真空泵站残余气体分析系统超高真空测量
JEVAsys® RGA-5H 配置说明：
DN63CF 真空腔体，集成式并可加热的样品安装/放置单元
真空部件采用不锈钢材质，全金属密封
抽气系统由紧凑型、无油 Scroll 干泵 HiScroll 6® 与 涡轮分子泵 HiPace 80 组成
支持多种运行模式的泵站控制系统
SRS RGA200 残余气体分析仪
用于真空组件、RGA 及样品安装单元的独立加热控制系统
ATMION® standard 有源宽量程真空计用于压力测量
JEVAmet® VCU 真空控制器，用于压力显示及阀门控制
紧凑型 19″ 机架用于安装泵站，前级真空泵可独立放置
