JEVATEC JEVAsys® RGA‑5H 实验室紧凑型超高真空机组UHV超高真空抽气系统实验室残余气体分析

系统配置
产品特点
✅ 完整一体化成套系统,开箱即可开展残余气体分析、样品加热实验
✅ 全金属密封超高真空腔体,适配科研 UHV 工况
✅ 模块化设计,测量、控制模块可组合拓展,适配多种实验需求
✅ 无油干泵 + 分子泵组合,避免油污染;独立多通道加热控制
✅ 配套原厂 ATMION 与 JEVAmet 测量控制组件,压力监测与阀门控制一体化
典型应用
实验室残余气体分析、材料样品加热处理实验、科研超高真空基础实验。
| 属性项 | 填写内容 |
|---|---|
| 品牌 | JEVATEC |
| 产品名称 | JEVAsys® RGA‑5H 实验室残余气体分析超高真空机组 |
| 腔体规格 | DN63CF,金属密封,带可加热样品台 |
| 抽气配置 | HiScroll6 无油涡旋泵 + HiPace80 分子泵 |
| 分析单元 | SRS RGA200 残余气体分析仪 |
| 真空测量 | ATMION®‑standard 宽量程真空计、JEVAmet® VCU 控制器 |
| 加热控制 | 多通道独立温控(腔体部件、RGA、样品台) |
| 整机结构 | 19 英寸机架式;前级泵可自由外置摆放 |
JEVAsys RGA‑5H,JEVATEC 超高真空机组,RGA 残余气体分析系统,实验室 UHV 真空成套设备,DN63CF 实验真空腔体。
JEVAsys® RGA‑5H 应用领域
它是实验室紧凑型 UHV 残余气体分析成套机组,主打材料、表面科学方向:
材料出气 / 放气测试:材料、薄膜、密封件的放气速率、脱附气体组分检测(TDS 热脱附实验)
表面科学基础研究:超高真空腔体残余气体分析、真空腔体烘烤除气效果验证
催化与热分析实验:催化反应、程序升温吸附 / 脱附(TPD)气体组分监测
真空工艺诊断:小型镀膜、等离子实验腔体的杂质溯源、漏气排查
高校 / 科研院所教学实验:UHV 真空技术、残余气体质谱分析教学平台
航天、真空元器件预研:空间模拟小腔体、真空元器件出气评估
适配场景:高校实验室、科研院所、新材料研发企业,以研发实验为主,不是产线在线设备,自带加热样品台,适合需要加热样品 + 同步测残余气体的实验。
它是实验室紧凑型 UHV 残余气体分析成套机组,主打材料、表面科学方向:
材料出气 / 放气测试:材料、薄膜、密封件的放气速率、脱附气体组分检测(TDS 热脱附实验)
表面科学基础研究:超高真空腔体残余气体分析、真空腔体烘烤除气效果验证
催化与热分析实验:催化反应、程序升温吸附 / 脱附(TPD)气体组分监测
真空工艺诊断:小型镀膜、等离子实验腔体的杂质溯源、漏气排查
高校 / 科研院所教学实验:UHV 真空技术、残余气体质谱分析教学平台
航天、真空元器件预研:空间模拟小腔体、真空元器件出气评估
适配场景:高校实验室、科研院所、新材料研发企业,以研发实验为主,不是产线在线设备,自带加热样品台,适合需要加热样品 + 同步测残余气体的实验。
