JEVATEC JEVAsys® RGA‑5H 实验室紧凑型超高真空机组UHV超高真空抽气系统实验室残余气体分析

JEVATEC JEVAsys® RGA‑5H 实验室紧凑型超高真空机组UHV超高真空抽气系统实验室残余气体分析

JEVAsys® RGA‑5H 是模块化紧凑型实验室 UHV 超高真空抽气系统,面向残余气体分析(RGA)、样品加热实验;集成真空腔体、无油抽气机组、真空测量、残余气体分析仪、多路加热控制整套单元,采用 19 英寸机架式结构,前级泵可灵活摆放,模块化配置支持多种科研实验应用。

系统配置

  1. 真空腔体:DN63CF 金属密封腔体,集成可加热样品台;真空部件全部不锈钢金属密封
  2. 抽气机组:无油涡旋泵 HiScroll 6® + 分子泵 HiPace 80;完整多模式机组控制系统
  3. 分析部件:SRS RGA200 残余气体分析仪
  4. 真空测量:ATMION®‑standard 宽量程真空计 + JEVAmet® VCU 真空控制器,实现压力显示、阀门控制
  5. 加热系统:独立多路温控,分别对腔体部件、RGA 分析仪、样品台控温
  6. 机架形式:紧凑型 19 英寸机架,前级干泵可外置自由摆放

产品特点

✅ 完整一体化成套系统,开箱即可开展残余气体分析、样品加热实验

✅ 全金属密封超高真空腔体,适配科研 UHV 工况

✅ 模块化设计,测量、控制模块可组合拓展,适配多种实验需求

✅ 无油干泵 + 分子泵组合,避免油污染;独立多通道加热控制

✅ 配套原厂 ATMION 与 JEVAmet 测量控制组件,压力监测与阀门控制一体化

典型应用

属性项填写内容
品牌JEVATEC
产品名称JEVAsys® RGA‑5H 实验室残余气体分析超高真空机组
腔体规格DN63CF,金属密封,带可加热样品台
抽气配置HiScroll6 无油涡旋泵 + HiPace80 分子泵
分析单元SRS RGA200 残余气体分析仪
真空测量ATMION®‑standard 宽量程真空计、JEVAmet® VCU 控制器
加热控制多通道独立温控(腔体部件、RGA、样品台)
整机结构19 英寸机架式;前级泵可自由外置摆放
JEVAsys RGA‑5H,JEVATEC 超高真空机组,RGA 残余气体分析系统,实验室 UHV 真空成套设备,DN63CF 实验真空腔体。
JEVAsys® RGA‑5H 应用领域
它是实验室紧凑型 UHV 残余气体分析成套机组,主打材料、表面科学方向:
材料出气 / 放气测试:材料、薄膜、密封件的放气速率、脱附气体组分检测(TDS 热脱附实验)
表面科学基础研究:超高真空腔体残余气体分析、真空腔体烘烤除气效果验证
催化与热分析实验:催化反应、程序升温吸附 / 脱附(TPD)气体组分监测
真空工艺诊断:小型镀膜、等离子实验腔体的杂质溯源、漏气排查
高校 / 科研院所教学实验:UHV 真空技术、残余气体质谱分析教学平台
航天、真空元器件预研:空间模拟小腔体、真空元器件出气评估
适配场景:高校实验室、科研院所、新材料研发企业,以研发实验为主,不是产线在线设备,自带加热样品台,适合需要加热样品 + 同步测残余气体的实验。

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