德国JEVATEC ATMION® 宽量程真空计超高真空UHV全量程测量

德国JEVATEC ATMION® 宽量程真空计超高真空UHV全量程测量

ATMION® 单传感器,覆盖大气压到超高真空 UHV 全量程测量
德国 JEVATEC 原厂开发制造,25 年成熟验证主动式复合真空规,皮拉尼热传导 + Bayard‑Alpert 巴雅‑阿尔珀特电离计二合一集成于同一传感器,无需多支规管组合,一支真空计完成从大气压到超高真空压力检测,减少腔体法兰开孔,简化真空系统搭建。
🔹四大型号,适配工业与超高真空工艺
ATMION® compact|工业经济型
DN25KF 法兰,双坚固 V 型灯丝,测量范围:1000~1×10⁻⁸ mbar;兼容老型号 ATC25KLE,直接替换升级。
ATMION® compact‑DP|工业总线版
compact 基础上增加 Profibus‑DP 总线接口,适配工厂 PLC 自动化控制系统;兼容老型号 ATC25KPLE。
ATMION® standard|超高真空 UHV 版
DN40CF 可烘烤法兰,两根可更换拉伸灯丝,测量范围:1000~1×10⁻¹⁰ mbar;适配科研、镀膜 UHV 工艺,兼容老型号 ATS40C。
ATMION® standard‑DP|UHV 总线版
standard 规格 + Profibus‑DP 接口,兼容老型号 ATS40CP,适合大型自动化超高真空产线。
✨核心产品优势
✅ 全量程一体化:单个传感器实现大气压→超高真空连续压力测量,降低硬件成本与布线工作量
✅ 丰富接口便于系统集成:0‑10VDC 对数线性模拟输出、RS232 串口,可选 Profibus‑DP 总线,轻松接入真空设备 PLC、上位机系统
✅ 硬件可靠耐用:传感器不锈钢 1.4301 材质,电子单元铝合金型材外壳;双灯丝设计,灯丝可单独更换,维护成本更低
✅ 配套控制器生态完善:可搭配 JEVAmet® VCU、MVC‑3 真空控制器,支持多规同时显示、数据记录、漏率计算
✅ 成熟国产化替换兼容:可直接替代 ATC25KLE、ATS40C 等旧款规管,老设备改造无需改动腔体法兰
📌典型应用场景
真空镀膜设备、半导体腔体、科研超高真空系统、真空热处理、等离子工艺、真空设备改造升级、检漏系统压力监测。
一支真空计测大气压到超高真空、德国 JEVATEC ATMION 真空计、JEVAmet VCU 控制器配套真空规

德国 JEVATEC ATMION® 宽量程真空计,皮拉尼 + Bayard‑Alpert 复合测量,单传感器实现大气压到超高真空测量;compact/standard 四大型号,DN25KF/DN40CF 法兰,支持 RS232、Profibus‑DP,适配镀膜、半导体、科研超高真空系统,兼容老型号 ATC25KLE、ATS40C。


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