德国JEVATEC ,流量控制器,四通道流量控制器 FCU-4,控制真空系统的气体流量
德国JEVATEC ,流量控制器,四通道流量控制器 FCU-4,控制真空系统的气体流量
为了控制真空系统的气体流量，需要一个舒适且布局清晰的控制设备吗？
您的工艺是否使用不同的气体和气体混合物？因此，您正在寻找一种方便可靠的解决方案，在改变体积流量的同时保持工艺气体的混合比？
通过使用我们产品系列中的四通道流量控制器 FCU-4捷瓦流®，由 JEVATEC GmbH 开发的一款多功能且技术上相当于日立金属控制装置 ROD-4 的仪器，正等待着您。根据要求，我们为您的应用提供合适的 MFC。
捷瓦流 FCU-4®
■ 最多四个模拟或数字 MFC 的控制单元
■ 清晰易读的 4 位 LED 显示屏和每个通道的状态显示
■ 在测量范围内以 % 或 SLM/SCCM 为单位显示和输入流量值
■ 通过前键槽或串行接口 RS 232 进行控制
■ 主/从功能
■ 每个通道一个模拟输出
■ 每个通道两个继电器，用于过程控制和阀门控制
■ 全球通用的宽范围电源
■ 机架插槽 19 英寸，2 个高度单元
