JEVATEC · JEVAmet® Series
JEVAmet® 主动式真空传感器
从大气压到超高真空，一只传感器覆盖全量程
德国制造 · 25 年验证 · 即插即用
德国制造 · 25 年验证 · 即插即用
咨询热线 15821107090
品牌概述
JEVATEC 拥有 二十余年真空测量技术积淀，JEVAmet® 主动式真空传感器系列将这一经验凝聚为三款精密测量仪器，覆盖从大气压（1000 mbar）到超高真空（1×10⁻¹⁰ mbar）的完整压力量程。
所有传感器均为主动式（Active）设计 — 内置信号处理电子元件，直接输出标准模拟信号或数字总线数据，无需外接复杂的测量电路。即插即用，兼容市面上主流的真空控制器。
Pirani 热导原理Bayard-Alpert 电离原理压阻式原理0 – 10 VDC 模拟输出Profibus-DP 总线RS232 串口即插即用兼容
ATMION® 复合型宽量程真空计
Pirani 热导 + Bayard-Alpert 电离 → 单传感器覆盖 大气压→UHV
将 Pirani 热导真空计和 Bayard-Alpert 电离真空计合二为一的旗舰产品。在单只传感器内完成从粗真空到超高真空的无缝测量切换，无需安装多只不同量程的传感器。
ATMION® 四大变体
ATMION® compact
DN25KF
量程：1000 – 1×10⁻⁸ mbar
双 V 型灯丝 · 可更换传感器头 · 工业级设计 · 替代原 ATC25KLE
ATMION® compact-DP
DN25KF + Profibus-DP
量程：1000 – 1×10⁻⁸ mbar
同 compact + Profibus-DP 总线接口 · 替代原 ATC25KPLE
ATMION® standard
DN40CF
量程：1000 – 1×10⁻¹⁰ mbar
双可更换拉伸灯丝 · UHV 相容 · 替代原 ATS40C
ATMION® standard-DP
DN40CF + Profibus-DP
量程：1000 – 1×10⁻¹⁰ mbar
同 standard + Profibus-DP · 替代原 ATS40CP
| 参数 | 规格 |
|---|---|
| 测量原理 | Pirani 热导（粗/中真空）+ Bayard-Alpert 电离（高/UHV） |
| 量程（compact） | 1000 – 1×10⁻⁸ mbar |
| 量程（standard） | 1000 – 1×10⁻¹⁰ mbar |
| 输出信号 | 0 – +10 VDC（对数-线性，0.625 VDC / decade） |
| 供电电压 | +24 VDC |
| 接口类型 | 模拟 + RS232 串口；可选 Profibus-DP |
| 兼容控制器 | JEVAmet® VCU / VACOM MVC-3 |
| 外壳材质 | 传感器管：不锈钢 1.4301；电子盒：铝合金型材外壳 |
| 测量特性 | 气体种类相关（需根据气体类型修正） |
| 传感器头 | 可更换设计，维护成本低 |
JEVAmet® PRM / PRM-S 皮拉尼热导真空计
前级真空段的经济之选 · 被识别为 TTR 传感器
经典的 Pirani 热导原理，专为粗真空和精细真空段设计。坚固耐用、价格亲民、兼容性极广 — 几乎你能想到的主流真空控制器，它都能即插即用。
PRM / PRM-S 技术参数
| 参数 | PRM | PRM-S（带开关量输出） |
|---|---|---|
| 测量原理 | Pirani 热导真空计 | |
| 测量范围 | 5×10⁻⁴ – 1000 mbar | |
| 显示范围 | 5×10⁻⁵ – 1000 mbar | |
| 输出信号 | 对数模拟信号 | |
| 设定点 | — | 两个可编程开关设定点 |
| 供电电压 | +15 – +30 VDC | |
| 真空接口 | DN16KF 或 DN16CF 法兰 | |
| 测量单元 | 固态屏蔽 Pirani 测量单元 · 可工厂更换 | |
| 识别类型 | TTR 传感器（多品牌控制器兼容） | |
| 重复性 | 高重复性 | |
| 结构 | 紧凑型设计 | |
控制器兼容性（被识别为 TTR 传感器）
| 品牌 | 兼容型号 |
|---|---|
| 🏭 JEVATEC | JEVAmet® VCU |
| 🏭 LEYBOLD | DISPLAY ONE / TWO / THREE · CENTER ONE / TWO / THREE · GRAPHIX ONE / TWO / THREE |
| 🏭 VACOM | MVC-3 · Vacuum Explorer VaX |
| 🏭 PFEIFFER VACUUM | CenterOne / CenterTwo / CenterThree |
| 🏭 INFICON | VGC401 / VGC402 / VGC403 · VGC501 / VGC502 / VGC503 |
JEVAmet® PZM-2000 压阻式绝对压力传感器
亚毫秒级响应 · 气体种类无关 · 无需校准
一款”敏捷”的线性压力传感器。压阻芯片直接感应绝对压力，响应速度达 1 ms，专为真空系统快速压力监控而生 — 比如传送腔（load-lock）充放气过程的实时压力跟踪。
PZM-2000 技术参数
| 参数 | 规格 |
|---|---|
| 测量原理 | 压阻式绝对压力传感器 |
| 测量范围 | 0 – 2000 mbar（绝对压力） |
| 输出信号 | +2 – +10 VDC（线性输出） |
| 响应时间 | 约 1 ms（压力阶跃响应） |
| 供电电压 | +15 – +30 VDC |
| 真空接口 | DN16KF 法兰，带 G 1/4″ 内螺纹 |
| 外壳 | 不锈钢外壳 |
| 接线方式 | 四线制（Kelvin 连接） |
| 识别类型 | DU 2000 传感器（多品牌控制器兼容） |
| 气体相关性 | 气体种类无关 |
| 校准 | 无需调节 |
| 抗振动 | 抗振动设计 |
控制器兼容性（被识别为 DU 2000 传感器）
| 品牌 | 兼容型号 |
|---|---|
| 🏭 JEVATEC | JEVAmet® VCU |
| 🏭 LEYBOLD | DISPLAY ONE / TWO / THREE · CENTER ONE / TWO / THREE · GRAPHIX ONE / TWO / THREE |
| 🏭 PFEIFFER VACUUM | CenterOne / CenterTwo / CenterThree |
| 🏭 INFICON | VGC401 / VGC402 / VGC403 · VGC501 / VGC502 / VGC503 |
三款传感器全量程覆盖图
Atmmbar10⁻³10⁻⁶10⁻⁹UHV
| ATMION® | PRM / PRM-S | PZM-2000 | |
|---|---|---|---|
| 定位 | 旗舰全能 | 前级专精 | 快速线性 |
| 原理 | Pirani + B-A 电离 | Pirani 热导 | 压阻式 |
| 量程 | 1000 – 10⁻¹⁰ mbar | 5×10⁻⁴ – 1000 mbar | 0 – 2000 mbar |
| 输出 | 0-10V 对数-线性 | 对数模拟 | 2-10V 线性 |
| 响应 | 常规 | 常规 | ~1 ms 超快 |
| 气体相关 | 是 | 是 | 否 ✓ |
| 法兰 | DN25KF / DN40CF | DN16KF / DN16CF | DN16KF+G1/4″ |
| 数字总线 | RS232 + 可选 Profibus-DP | — | — |
| 设定点 | — | PRM-S: 2个 | — |
推荐配套：JEVAmet® VCU 真空控制器
JEVAmet® VCU 是 JEVATEC 自家的真空控制器，可与上述所有三款传感器无缝配合。同时，JEVAmet® PRM 和 PZM-2000 还兼容 Leybold、VACOM、Pfeiffer Vacuum、INFICON 等主流厂商的控制器——对已有系统的升级替换异常友好。
JEVAmet® VCUVACOM MVC-3VACOM VaXLeybold DISPLAYLeybold CENTERLeybold GRAPHIXPfeiffer CentreLineINFICON VGC40x/50x
