这JEVAsys® 用于分析残余气体的 RGA-5H 系统是紧凑型实验室抽气装置的一个例子。它基本上由一个小型真空室、一个干式泵送系统和一个专门设计的抽油装置控制系统组成。我们的真空测量技术来自JEVAmet® 一个nd ATMION 公司®产品线用于真空测量。
有趣的是，模块化设计以及不同测量和控制模块的组合使广泛的可实现应用成为可能。
JEVAsys® RGA-5H
- 真空室 DN63CF，带集成和可加热的样品架
- 真空组件由不锈钢制成，金属密封
- 泵系统由紧凑型无油涡旋泵 HiScroll 6® 和涡轮分子泵 HiPace 80 组成
- 适用于各种运行模式的抽油装置控制
- SRS RGA200 作为残余气体分析仪
- 组件、RGA 和样品架的单独加热控制
- 用于压力测量的主动宽量程真空计 ATMION 标准®
- 真空控制器 用于压力显示和阀门控制的 JEVAmet VCU®
- 用于真空装置的紧凑型 19 英寸机架，前级真空泵可自由设置
