德国JEVATEC,JEVAflow® FCU-4四通道流量控制器,用于真空系统,JEVAflow® FCU-4四通道流量控制器与PROTERIAL ROD-4技术参数完全一致,可根据需求匹配适配的MFC质量流量计。
德国JEVATEC,JEVAflow® FCU-4四通道流量控制器描述:
JEVAflow® FCU-4 四通道流量控制器
您是否需要为真空系统配备便捷清晰的气体流量控制单元?
您的工艺是否涉及多种气体或混合气体?是否需要在流量变化时保持工艺气体混合比的稳定性?
JEVAflow® FCU-4四通道流量控制器与PROTERIAL ROD-4技术参数完全一致,可根据需求匹配适配的MFC质量流量计。
德国JEVATEC,JEVAflow® FCU-4四通道流量控制器核心功能:
• 最多支持4路模拟/数字MFC控制
• 4位数码管显示及通道状态指示灯
• 支持满量程百分比或slm/sccm单位显示
• 前面板按键或RS232串口控制
• 主从控制功能
• 每通道独立模拟输出
• 每通道配备2个继电器(工艺/阀门控制)
• 全球通用宽电压电源
• 2U标准19英寸机架式安装

https://www.bihec.com/jevatec-jevamet-jevalux/德国JEVATEC,JEVAflow® FCU-4四通道流量控制器,用于真空系统/
https://zhuanlan.zhihu.com/p/1900246406184277533