idonus 静电卡盘（E-chuck）

产品概述

静电卡盘能够通过静电力将多个芯片以及晶圆的部分区域夹持到晶圆承载器上。该装置对于研发机构极为有用，因为在这些机构中，不一定总能处理完整的晶圆。

主要应用与优势

采用静电夹持芯片的方式，允许在 HF 气相释放之前对 MEMS 晶圆进行严格的划片工艺。通过修改传统的工艺流程，可以生产出具有极柔软悬架结构的 MEMS 器件。

操作说明

静电卡盘的使用非常简单：将芯片放置在晶圆承载器上，通过控制器盒上的开关开启静电力，静电力大小可调。