瑞士idonus，静电吸盘E-chuck

静电吸盘E-chucks

静电吸盘能够通过静电力将多个芯片以及晶圆的部分固定到晶圆夹具上。

该设备对研发机构极为有用，因为并非总能在完整的晶圆上开展工作。芯片的静电夹持使得在进行高频蒸汽释放之前，能够对微机电系统（MEMS）晶圆执行严苛的切割工艺。通过修改传统制造流程，就有可能制造出具有极软悬架的微机电系统（MEMS）设备。

静电吸盘的使用非常简单。将芯片放置在晶圆支架上，通过控制箱上的开关开启电力。静电力是可以调节的。

静电吸盘既可以用于整片晶圆的夹持，也可以用于单个芯片的静电夹持。