瑞士idonus，红外显微镜IR-M

红外显微镜

硅片是制造集成电路（IC）和微机电系统（MEMS）中使用的关键组件。在红外（IR）波段能够看透这种半导体材料，这对制造过程的质量控制十分有利。

idonus红外晶圆检测显微镜（IR-M）配备了长工作距离物镜。3档变焦功能使用户能够选择合适的视场和放大倍数。一台红外敏感相机（通过USB 3.0通信）将被检测样品的图像显示在计算机上。使用5倍物镜时，分辨率优于3微米。

此外，还提供顶部照明。这使得显微镜能够以传统模式使用，并检查晶圆的顶面。红外显微镜配备有一个XY工作台，可容纳直径200毫米（8英寸）或更小的晶圆。可选地，XY工作台可以是电机驱动的，以便通过图形用户界面（GUI）和/或操纵杆进行便捷控制。

idonus红外晶圆检测显微镜（IR-M）—— 图中所示版本配备电动 xy 载物台。

idonus红外晶圆检测显微镜（IR-M）- 该设备配备多种晶圆夹具。

图形用户界面（GUI）

适用于Windows操作系统的图形用户界面（GUI）允许用户通过个人电脑操作显微镜。它能够实现对显微镜的完全控制，以及在晶圆上用户自定义的网格上自动采集图像。

应用场景

idonus IR-M在半导体和微机电系统（MEMS）器件检测等领域有应用：

• 通过透射成像观察硅片（即微结构硅片）
• 太阳能电池功率效率检测

以下图像是用红外 – M 成像显微镜拍摄的。它们展示了一个微结构绝缘体上硅（SOI）晶圆。第一张图像展示了顶部照明（可见光谱）下的传统显微镜图像。第二张图像是在红外照明（红外透射模式）下拍摄的，显示了基层和器件层之间的埋入式二氧化硅（SiO₂）。