硅材料对红外光具有高度透光特性。Idonus红外光晶圆检测显微镜（IRM）通过从基板背面进行红外照射，并捕获透射光线，实现对硅基材料的无损检测。
硅材料对红外光具有透光特性。我们的红外光晶圆检测显微镜通过从晶圆背面进行红外照射，并捕捉穿透基板的光信号，可检测硅基板内部无法通过传统显微镜观测的微观现象。该显微镜配备长工作距物镜，三级变焦系统支持用户根据需求调整视场与放大倍率。红外敏感相机通过USB接口将检测图像传输至计算机，在使用5倍物镜时分辨率优于3微米。系统额外配备顶部照明模块，支持传统显微镜观测模式，可实现晶圆正表面形貌检测。
红外显微镜搭载XY电动载物台，兼容8英寸及更小尺寸晶圆，可通过摇杆控制台位移。针对实验室环境，也可选配高性价比手动XY平移台替代全自动装置。欢迎垂询了解更多配置详情！
Features of the IR microscope:
背面红外透射照明系统
正面落射照明模块
兼容8英寸及以下晶圆的XY载物台
长工作距物镜
三级精密变焦机构
红外敏感相机
计算机端实时检测平台
Applications:
• 释放型MEMS器件结构探查
• 埋层材料（如SOI晶圆）刻蚀速率测
量
• 熔融键合界面质量检测
• 硅晶圆/芯片背面对准验证
• 制造质量全流程监控
Benefits:
• 可靠的微锚点加工技术，提升MEMS器件填充因子
• 双面照明系统（正面落射+背面红外）
• 高分辨率成像（5倍物镜下优于3微米）
• 紧凑型结构设计
• 操作便捷，结果立现
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