瑞士IDONUS 静电夹具 E-chucks
静电夹具能够通过静电力将多个芯片以及晶圆的部分夹紧到晶圆支架上。
该设备对研发机构非常有用，因为在某些情况下无法对完整的晶圆进行操作。芯片的静电夹紧允许在HF蒸汽释放之前进行MEMS晶圆的粗切割。通过修改传统的制造流程，可以生产具有极软悬挂的MEMS器件。
使用静电夹具非常简单。将芯片放置在晶圆支架上，然后通过控制箱上的开关打开电力。静电力可以进行调节。
关于idonus
idonus sàrl公司于2004年由瑞士纳沙泰尔大学微工程研究所（IMT）成立为一家初创公司（现为瑞士洛桑联邦理工学院IEM电气与微工程研究所的一部分）。
idonus专注于为MEMS和制表行业开发和制造特殊设备。
公司位于瑞士钟表谷的核心地带，在这里，精密微加工与不断增长的微技术和纳米技术企业集群相融合。其总部位于瑞士纳沙泰尔的Hauterive的Innoparc。
产品与解决方案
产品 — 我们的产品组合包括用于光刻的UV-LED曝光系统（UV-EXP）、用于晶圆检测的红外显微镜（IR-M），以及用于硅基器件的气相化学蚀刻仪（VPE）。自2016年以来，我们还提供用于材料表面处理的离子注入服务和设备。
解决方案 — idonus的优势之一在于能够根据每位客户的需求定制其产品。公司的垂直整合使快速原型设计成为可能，从而为客户带来较短的交货周期。
