静电卡盘能够通过静电力将多个芯片以及部分晶片夹紧到晶片夹具上。
这种设备对R&D的研究机构非常有用，因为在那里并不总是能够加工完整的晶片。芯片的静电夹持允许在HF蒸汽释放之前执行MEMS晶片的苛刻切割工艺。通过修改经典的制造顺序，制造具有极软悬架的MEMS器件成为可能。
静电吸盘的使用非常简单。芯片被放置在晶片支架上，电力由控制箱上的开关打开。静电力是可以调节的。
静电卡盘既可以用于整个晶片的夹持，也可以用于单个芯片的静电夹持。
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