红外显微镜(红外光谱 )

S硅晶片是集成电路(IC)和微电子机械系统(MEMS)制造中必不可少的元件。在红外(IR)范围内看穿这种半导体材料的能力对于制造过程的质量控制是有利的。

伊多努斯红外晶片检验显微镜 (红外光谱)配备了长工作距离物镜。3步变焦允许用户选择合适的视野和放大倍率。红外敏感摄像机在计算机上显示检测样品的图像(通过USB 3.0通信)。分辨率优于5倍物镜的3微米。

此外，还提供顶部照明。这允许显微镜以常规模式使用，并检查晶片的顶面。红外显微镜配有xy工作台，可容纳200毫米(8英寸)或更小的晶片。可选地，xy工作台可以由电机驱动，以便通过图形用户界面(GUI)和/或操纵杆进行控制。

idonus IR晶圆检测显微镜(IR-M)–所示型号包括一个电动xy载物台。

idonus IR晶圆检验显微镜(IR-M)的细节–该设备配有各种晶圆支架。

图形用户界面(GUI)

Windows操作系统的图形用户界面允许用户使用PC操作显微镜。它实现了对显微镜的完全控制，以及在晶片上用户定义的网格上自动采集图像。

应用程序

伊多努斯红外光谱尤其适用于半导体和MEMS器件检测:

• 通过透射成像观察硅晶片(即微结构晶片)
• 太阳能电池功率效率的检查

以下图像是用拍摄的红外光谱成像显微镜。他们展示了一种微结构绝缘体上硅(SOI)晶片。第一幅图像显示了顶部照明的经典显微镜图像(可见光谱)。第二幅图像是用红外照明(IR透射模式)拍摄的，显示了掩埋的氧化硅(SiO₂)在基础层和设备层之间