L系列电动与气动微型线性运动装置技术规格
密封结构：焊接波纹管
真空接触材料：不锈钢
温度参数：
烘烤温度：200°C（最高，需拆除电机时）
工作温度范围：
电动型：-20°C 至 80°C
气动型：-20°C 至 150°C
压力范围：常压至 1×10⁻¹¹ Torr
负载能力：
最大轴向负载：
电动型：10 磅（4.5 公斤）同心负载
气动型：25 磅（11.3 公斤）同心负载
最大侧向负载：5 磅（1.36 公斤）@缩回位置末端
精度参数：
线性刻度分辨率：0.05 英寸（1 毫米）
表盘分辨率：0.002 英寸（0.05 毫米）
电动型精度：51,200 微步/转
步进电机：1.8°/整步
机械参数：
螺纹导程：每转 0.05 英寸（1.3 毫米）
气动执行器参数：
接口尺寸：1/8″ NPT
驱动方式：双作用气缸
气压要求：最大 100psi（6.9 bar）
Huntington旋转运动装置、Huntington直线运动装置、Huntington磁力传输装置、Huntington超高真空组件、Huntington超高真空运动与定位装置、Huntington运动传递装置
