proLINE
紧凑型 EUV 光源
在宽波长范围内提供高光子通量
可提供宽带或单色输出
高可靠性、长期稳定
紧凑设计
proLINE 是一款易于使用的基于等离子体的 EUV 光源，可在 1–20 nm 波长范围内提供极高光子通量。作为即插即用光源，它使科研人员能够专注于实验研究。光源可配合我们产品组合中的单色仪或诊断光谱仪使用。
proLINE 高度多功能，可提供两个或更多输出端口，支持光束线路的同时使用。同时，可通过气体选择和单色仪设置实现快速自动波长切换。
定制版本同样可用，包括单色仪、聚焦单元及实验靶装置。proLINE 光源可与 X 射线吸收光谱系统 proXAS 配合，形成多用途测试平台。如需更多信息，请联系我们讨论您的需求。
低维护设计
proLINE 光源实现高稳定运行：减少对设备的关注，让科研人员专注于实验。
无电极、无碎片技术保证高系统在线率且维护量低。通过精心设计的气体喷嘴和减振装置，光通量波动可控制在 ±1.5% 以内。
应用领域
EUV 计量
Blue-X 研究
光罩缺陷检测
光刻胶开发
EUV 显微成像
水窗显微成像
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