511 型轮廓仪
一、产品概述
511 型是一款多功能测量仪器,可自动计算、记录并显示通常需手动记录的测量值,配备计算机接口,支持数据实时直接下载至电脑。适用于大面积均匀度测量(可直接获取平均值、均匀度百分比数据),通过单键提示即可在不同屏幕模式间切换,便于数据回顾。
二、显示模式
- 数值模式:在曝光表面区域显示 mW/cm² 或 mJ/cm² 的实际数值
- 条形图模式:直观展示曝光平面内的数值差异
三、技术规格
- 测量精度:符合 NIST 校准标准,精度达 ±3%(3σ 水平)
- 动态范围线性度:1%
- 探头:余弦响应探头
- 测量功能:通过模式选择键切换测量 mW/cm² 或 mJ/cm²
- 量程:1.0 至 250.0 mW/cm²;1.0 至 250.0 mJ/cm²
- 显示内容:平均值、均匀度百分比、最大值、最小值
- 支持波长:365nm、400nm、420nm(可特殊定制其他波长)
- 显示屏:背光设计,任意光线条件下均便于读取
- 充电器:适配 90–240V AC(47–63Hz),通过 UL、CE、TUV 认证
可用探头

适用于紫外固化和 “泛光曝光” 应用
- 4 英寸圆形探头,配备 9 传感器阵列
- 6 英寸圆形探头,配备 11 传感器阵列.

适用于佳能光刻系统
- 6 英寸探头,配备 11 传感器弧形阵列
传感器光谱范围
(图表:横轴为波长(纳米),纵轴为相对光源强度)

