410 型紫外光计
应用场景包括:医疗、区域曝光、光刻、扫描仪、步进机
光计特性
- 符合 NIST 校准标准,精度达 ±3%(3σ 水平)
- 动态范围内线性度达 1%
- 余弦响应探头
- 实时测量
- 探头波长覆盖 173 纳米至 540 纳米,可延伸至红外光谱
- 探头可互换 —— 探头间重复性误差低于 1%
- 可测量毫瓦 / 平方厘米(mw/cm²)、毫焦耳 / 平方厘米(mj/cm²)、累计毫焦耳 / 平方厘米、时间(毫秒)及累计时间
- 可计算平均值、均匀度百分比、与中心值的偏差百分比等参数
- 可针对快门开启时的多次读数计算 3σ 偏差
- 背光显示屏,任意光线条件下均便于读取
- 电池单次充电后续航约 18 小时
- 充电器适用于 90–240 伏交流电压(47–63 赫兹),并通过 UL、CE 及 TUV 认证
一款功能丰富的光测量仪器
410 型是一款功能多样的测量仪器,其内置计算机可存储传感器读数,并计算平均值、百分比偏差及其他数据值。这一功能省去了人工记录数值、手动计算光源均匀度或曝光一致性的步骤。此外,410 型的计算机接口支持将存储的数据传输至永久存储设备。其大尺寸显示格式(4 行 ×20 字符)可同时展示多项读数。
为简化测量操作,410 型预设了多种工作模式,便于用户选择最适配所需数据的模式。仪器会根据实际测量需求配置对应的模式组。
例如,在进行大面积均匀度测量时,仪器会提供平均值、均匀度百分比、与中心值的偏差等数据,但不会显示四组毫焦耳曝光量的标准差。
简洁的操作格式让用户可选择能输出目标结果的模式,后续计算由仪器自动完成。数据查看也十分简便,仅需通过按键提示即可前后翻阅数据结果。
补充说明:
410 型光测量仪的核心优势在于自动化数据处理与模式适配,既提升了测量效率,也降低了人工计算的误差,适用于对精度和便捷性有要求的光测量场景(如工业检测、实验室分析等)。
紫外光计配件
传感器套装
410 型可搭配多种传感器套装,适配不同曝光设备,包括尼康(Nikon)、Ultratek、珀金埃尔默(Perkin Elmer)、Karl Suss、ABM、OAI 等品牌设备。探头波长覆盖 173 纳米至 540 纳米,可延伸至红外光谱。
电池与充电器
- 配备可充电电池,设备便携性高;单次充电续航约 18 小时
- 充电时长:整夜充电(实际约 6 小时);支持边充电边工作,但充电耗时会显著增加
- 充电器适配 90–240 伏交流电压(47–63 赫兹),并通过 UL、CE、TUV 认证
时间测量范围
毫秒级:0.1 至 9999.999 毫秒
410 型光计技术规格 —— 区域曝光设备
一、区域曝光设备规格
开关功能
- 红色按钮:开机(长按 1 秒)
- 增益开关:1X 或 10X
- 三个黑色按钮:功能键(显示分配),包括 “RST(重置)”“STO(存储)”“More(忽略)”“Mode(模式)”“Off(关机)” 等。
显示
- 4 行 ×20 字符,带背光。
量程
| 测量单位 | 1X 量程 | 10X 量程 |
|---|---|---|
| mW/cm² | 0.01 至 249.9 | 0.1 至 2499.9 |
| mJ/cm² | 0.01 至 9999.999 | 0.1 至 9999.999 |
工作模式
- 模式 1:持续显示 mW/cm² 及峰值 mW/cm²
- 模式 6:显示平均强度(mW/cm²)及 ±% 均匀度;显示与中心读数的 ±% 偏差;显示全部 9 组读数;显示最大 / 最小读数。
电源
- 内置可充电电池:续航约 18 小时
- 充电时间:设备关机时约 6 小时(LED 变暗后熄灭表示充满)
- 低电量提示:显示屏 “RST” 旁显示标识
- 充电器:适配 90–240V AC(47–63Hz),通过 UL、CE、TUV 认证
探头波长
220nm 至 540nm 及以上
尺寸与重量
- 尺寸:146mm(长)×210mm(宽)×51mm(高)
- 重量:未标注
二、补充功能说明
模式 2 / 模式 4 扩展功能
可测量 5 点或 9 点数据:
- 5 点模式:#1(中心)、#2(12 点方向)、#3(9 点方向)、#4(6 点方向)、#5(3 点方向);第五个读数后显示屏显示 “CALC”,按 “CALC” 键可查看 #1 读数的偏差百分比(按 “More” 键切换)。
- 9 点模式:忽略 “CALC” 选项。
三、注意事项
- 低电量提示:当 “RST” 旁出现电池标识时,需连接充电器(剩余续航最多 30 分钟)。
- 测量模式:
- 圆形逆时针模式:#1(中心),#2(12 点),其余点按逆时针 45° 递增。
- 线性模式:#1(中心),#2(左上)、#3(中上)、#4(右上)、#5(左中)、#6(右中)、#7(左下)、#8(中下)、#9(右下)。
- 均匀度计算公式:
均匀度=最大读数+最小读数(最大读数−最小读数)×100(±%)
四、传感器光谱范围
- 图表展示了微电子行业探头的光谱响应(含探测器及滤光玻璃的响应曲线),覆盖 200–540nm 波长。
五、410 型光计技术规格 —— 尼康模式
(注:仅展示部分内容,开关功能与区域曝光设备一致)
模式 8(尼康模式)
显示单次曝光的平均值、每组读数与平均值的偏差百分比、全部 9 组读数、最大 / 最小读数。
