Model 410 紫外光强度计
产品应用领域
产品特性
NIST三级校准精度±3%
动态范围内线性度1%
配备余弦校正探头
实时测量功能
探头波长范围：173nm至540nm（可扩展至红外光谱）
探头互换性：探头间重复性误差<1%
测量参数：
实时强度(mW/cm²)
能量密度(mJ/cm²)
累计能量密度
时间(毫秒级)
累计时间
计算功能：
平均值
均匀度(%)
中心值偏差率(%)
三次标准偏差(快门开启时多次读数)
背光显示屏，适应各种光照环境
电池续航：约18小时（可充电）
充电器规格：90-240V AC，47-63Hz，通过UL/CE/TUV认证
多功能光测量仪器
Model 410是一款多功能测量仪器，其内置计算机系统可存储传感器读数，并自动计算平均值、偏差百分比等数据指标，免去人工记录和计算的繁琐流程。通过计算机接口，测量数据可传输至永久存储设备。大尺寸显示屏(4×20字符)可同时显示多项测量数据。
仪器预设多种操作模式，用户可根据测量需求选择最佳模式。例如进行大面积均匀性测量时，仪器将提供平均值、均匀度百分比和中心值偏差等关键数据，而无需处理复杂的四组毫焦耳曝光标准偏差计算。
简洁的操作界面让您轻松选择所需模式，仪器将自动完成后续工作。通过单键操作即可前后浏览所有测量结果。
配件系统
Model 410可搭配多种传感器组件，适用于以下品牌曝光设备：
尼康(Nikon)、Ultratek、珀金埃尔默(Perkin Elmer)、Karl Suss、ABM、OAI等。探头波长覆盖173nm至540nm，可延伸至红外光谱。
电源系统
可充电电池提供约18小时续航
完整充电时间约6小时（支持边充边用，但会延长充电时间）
充电器规格：90-240V AC，47-63Hz，通过UL/CE/TUV认证
时间测量范围
0.1至9,999.999毫秒
Model 410 紫外光强度计技术规格表（区域曝光设备专用）
| 项目 | 规格说明 |
|---|---|
| 按键功能 | |
| 红色按钮 | 开机（长按1秒） |
| 增益开关 | 1X 或 10X 量程切换 |
| 三个黑色按钮 | 功能键（随显示切换）： • RST（复位） • STO（存储） • More/Disregard/Mode/Off等 |
| 显示屏 | 4行×20字符背光液晶屏 |
| 量程范围 | |
| 实时强度（mW/cm²） | • 1X量程：0.01~249.9 • 10X量程：0.1~2,499.9 |
| 能量密度（mJ/cm²） | • 1X量程：0.01~9,999,999 • 10X量程：0.1~9,999,999 |
| 操作模式 | |
| 模式1 | 实时强度与峰值强度连续显示 |
| 模式2 | 均匀性测量模式： • 按STO键存储9点预设位置读数 • 显示平均能量密度与±%均匀性 • 显示各点与中心值偏差率 |
| 模式3 | 单次读数模式： • 累计能量密度、时间与峰值强度测量 • 支持快门控制或扫描光束（Perkin Elmer设备） |
| 模式4 | 多点能量测量： • 快门控制9点预设位置读数 • 显示平均能量密度与中心值偏差率 |
| 模式6 | 光源均匀性测量： • 快门控制1秒采样（支持直线/圆形扫描模式） • 显示： – 平均强度与±%均匀性 – 各点与中心值偏差率 – 全部9组数据 – 最大/最小值读数 |
| 扩展功能 | 模式2/4支持5点测量： • #1中心→#2正上(12点)→#3左(9点)→#4正下(6点)→#5右(3点) • 完成第5点后按”CALC”+”More”显示各点与#1的偏差率 |
| 电源系统 | |
| 内置电池 | 可充电锂电池，续航约18小时 |
| 充电指示 | LED指示灯（充满后熄灭） |
| 低电量提示 | 屏幕”RST”旁显示电池符号（剩余约30分钟） |
| 充电器 | 90-240V AC，47-63Hz，UL/CE/TUV认证 |
| 技术参数 | |
| 探头波长 | 220nm~540nm（可扩展） |
| 外形尺寸 | 146mm(长)×210mm(宽)×51mm(高) |
| 测量模式说明 | |
| 圆形扫描路径 | #1中心→#2正上(12点)→按逆时针45°递增定位#3~#9 |
| 矩形扫描路径 | #1中心→#2左上→#3中上→#4右上→#5左中→#6右中→#7左下→#8中下→#9右下 |
| 均匀性计算公式 | （最大值-最小值）×100 ÷（最大值+最小值）= ±% |
光谱响应特性
本图表精确显示了当前微电子行业所用探头的光谱响应曲线，包含探测器元件和探头滤光片的综合光谱响应特性。
Model 410 紫外光强度计技术规格（尼康模式专用）
硬件配置
| 组件 | 规格说明 |
|---|---|
| 按键系统 | |
| 红色按钮 | 开机（需长按1秒） |
| 增益开关 | 1X/10X量程切换 |
| 功能按键 | 三枚黑色按钮，功能随显示切换： • RST（复位） • STO（存储） • More/Disregard/Mode/Off等 |
| 显示屏 | 4行×20字符背光液晶屏 |
| 外壳材质 | 铝合金机身 |
测量性能
| 参数 | 量程范围 |
|---|---|
| 光强（mW/cm²） | • 1X量程：0.01~249.9 • 10X量程：0.1~2,499.9 |
| 能量（mJ/cm²） | • 1X量程：0.01~9,999,999 • 10X量程：0.1~9,999,999 |
| 时间（毫秒） | 0.1~9,999,999 |
专用测量模式（尼康定制）
| 模式 | 功能说明 |
|---|---|
| 模式1 | 实时强度与峰值强度连续监测 |
| 模式3 | 单次测量： • 累计能量/时间/峰值强度记录 • 支持快门控制或扫描光束（适配Perkin Elmer设备） |
| 模式5 | 系统曝光一致性检测： • 快门控制下进行10次能量测量 • 显示： – 平均值区间 – 三倍标准差（3σ） – 全部10组数据 |
| 模式7 | 四组曝光分析： • 每组2-10次快门曝光 • 目标值：400/200/100/50 mJ/cm² • 显示每组： – 平均值与3σ标准差 – 极差（最大-最小值） – 各读数与目标值偏差率 |
| 模式8 | 光源稳定性测试： • 9次1秒快门曝光 • 显示： – 平均值 – 各读数与均值偏差率 – 全部9组数据 – 最大/最小值 |
电源系统
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 电池续航 | 可充电锂电池，持续工作约18小时 |
| 充电指示 | LED指示灯（充满后自动熄灭） |
| 低电量预警 | 屏幕”RST”旁显示电池符号（剩余约30分钟） |
| 充电器 | 90-240V宽电压，47-63Hz，UL/CE/TUV三重认证 |
物理参数
探头波长：220nm~540nm（可扩展）
外形尺寸：146mm(长)×210mm(宽)×51mm(高)
整机重量：详见具体配置
注：
模式7支持自定义曝光次数（2-10次/组）
所有数值显示均保留3位有效数字
三倍标准差（3σ）计算符合半导体行业标准
