Model 511 型光强分布分析仪
核心功能特性
智能测量系统
自动计算/记录/显示传统需手工记录的光学参数
配备实时计算机接口，支持测量数据直传PC端
大面积均匀性测量时自动生成：
✓ 平均值
✓ 均匀度百分比单键切换屏幕模式，快速回溯历史数据
双模式显示
数值模式：直接显示曝光面各点的mW/cm²或mJ/cm²实际值
柱状图模式：可视化呈现曝光平面的光强分布差异
技术规格
| 参数 | 指标 |
|---|---|
| 测量精度 | NIST可溯源校准±3%（3σ标准） |
| 线性度 | 动态范围内1% |
| 探头类型 | 余弦校正探头 |
| 测量模式 | 按键切换mW/cm²与mJ/cm²模式 |
| 量程范围 | 1.0-250.0 mW/cm² / 1.0-250.0 mJ/cm² |
| 数据分析 | 显示： • 平均值与均匀度% • 最大/中间/最小值 |
| 波长选项 | 标准：365nm/400nm/420nm （支持其他波长定制） |
| 显示系统 | 背光LCD屏，适应各种光照环境 |
| 电源适配 | 90-240V宽电压充电器（47-63Hz），UL/CE/TUV认证 |
专业探头配置
UV固化&大面积曝光应用
4英寸圆形探头（9传感器矩阵布局）
6英寸圆形探头（11传感器矩阵布局）
佳能光刻系统专用
6英寸弧形阵列探头（11传感器弧形排列）
