Model 511紫外线光强分析仪
产品特点
- 自动化测量与计算：自动记录并显示光强（mw/cm²）和能量（mj/cm²）数据，替代传统手动记录
- 实时数据传输：支持计算机接口，测量数据可实时导出
- 双显示模式：
- 数值模式：直接显示曝光面各点的实际测量值
- 柱状图模式：直观呈现曝光平面的光强分布差异
- 高精度校准：NIST可溯源精度±3%（3σ标准），动态范围内线性误差＜1%
- 余弦校正探头：确保广角入射光测量准确性
技术规格
| 参数 | 指标 |
|---|---|
| 测量范围 | 强度：1.0~250.0 mw/cm² 能量：1.0~250.0 mj/cm² |
| 显示数据 | 平均值、均匀度（%）、最大值/中值/最小值 |
| 波长选项 | 标配365nm、400nm、420nm （其他波长可定制） |
| 探头类型 | 4英寸圆形（9传感器阵列） 6英寸圆形（11传感器阵列） 佳能光刻专用6英寸弧形阵列（11传感器） |
| 电源 | 全球通用充电器（90-240V AC，47-63Hz，UL/CE/TUV认证） |
| 显示屏 | 背光LCD，强光下清晰可视 |
应用场景
1. UV固化 & 大面积曝光检测
- 4英寸/6英寸圆形探头：
- 9或11传感器矩阵扫描，快速评估曝光均匀性
- 自动生成 平均值、偏差率、极值 数据
2. 佳能光刻系统配套
- 6英寸弧形探头：
- 11传感器弧形排列，适配步进式光刻机曝光面分析
操作优势
- 一键数据回溯：通过单键切换屏幕模式，快速对比不同测量结果
- 标准化报告：直接导出 均匀度%、3σ标准差 等关键参数，减少人工计算
物理参数
- 外壳材质：铝合金（防震防干扰）
- 探头线长：标准1.5米（可延长至3米）.
