型号410紫外线光强计
应用领域
医疗、区域曝光、光刻技术、扫描仪、步进式光刻机
产品特性
- 高精度校准:NIST可溯源精度±3%(3σ标准)
- 优异线性度:动态范围内线性误差<1%
- 余弦校正探头:173nm~540nm(可扩展至红外波段)
- 实时测量:支持mw/cm²、mj/cm²、累计能量、时间(毫秒级)及累计时间
- 智能计算:
- 平均值、均匀度(%)、中心值偏差率(%)
- 多组快门曝光下的3σ标准差
- 背光显示屏:4行×20字符,强光下清晰可视
- 18小时续航:全球通用充电器(90-240V AC,47-63Hz,UL/CE/TUV认证)
全能型测量系统
内置计算机可存储数据并自动计算:
- 曝光均匀性
- 光源稳定性
- 多组数据对比
支持计算机接口导出数据,大屏显示多参数同览。
四种智能模式
模式 | 功能 |
---|---|
模式1 | 实时强度(mw/cm²)与峰值强度连续显示 |
模式2 | 多点均匀性测量(9点/5点矩阵) • 显示平均值与±%均匀度 • 中心值偏差率 |
模式3 | 单次脉冲测量(能量、时间、峰值强度) • 适配扫描光束(如Perkin Elmer设备) |
模式4 | 多点能量测量(mj/cm²) • 快门控制9点采样 • 显示平均值与中心偏差 |
模式6 | 线型/环形光源均匀性分析 • 显示9组数据、最大/最小值、±%均匀度 |
5点测量矩阵(模式2/4扩展功能)
- 中心点 → 2. 12点钟方向 → 3. 9点钟方向 → 4. 6点钟方向 → 5. 3点钟方向
完成采样后按CALC
+More
键显示各点相对于中心值的偏差率。
技术规格
■ 操作界面
- 红色键:长按1秒开关机
- 增益切换:1X/10X量程
- 三黑键:复位(RST)、存储(STO)、模式切换等
■ 量程
参数 | 1X量程 | 10X量程 |
---|---|---|
强度(mw/cm²) | 0.01~249.9 | 0.1~2,499.9 |
能量(mj/cm²) | 0.01~9,999,999 | 0.1~9,999,999 |
时间(毫秒) | 0.1~9,999.999 | – |
■ 物理参数
- 尺寸:146×210×51mm(铝合金外壳)
- 重量:1.5磅(约680克)
■ 电源管理
- 低电量提示(剩余约30分钟时显示)
- 6小时充满(充电时LED渐灭)
Model 410 紫外线光强计 – Nikon专用模式技术规格
操作控制
- 红色按键:长按1秒开机/关机
- 增益切换:1X / 10X 量程
- 三颗黑色功能键:
- RST(复位)
- STO(存储)
- More(查看更多数据)
- Mode(模式切换)
- Off(关机)
显示屏
- 4行 × 20字符 背光液晶屏
测量范围
参数 | 1X量程 | 10X量程 |
---|---|---|
强度(mw/cm²) | 0.01 ~ 249.9 | 0.1 ~ 2,499.9 |
能量(mj/cm²) | 0.01 ~ 9,999,999 | 0.1 ~ 9,999,999 |
时间(毫秒) | 0.1 ~ 9,999,999 | – |
Nikon专用测量模式
模式1:实时强度监测
- 持续显示 实时强度(mw/cm²) 和 峰值强度
模式3:单次脉冲测量
- 测量单次曝光的 能量(mj/cm²)、时间、峰值强度
- 适用于 扫描光束系统(如Perkin Elmer)
模式5(Nikon):曝光一致性分析
- 多次测量能量(mj/cm²),评估系统曝光稳定性
- 显示:
- 10组测量值
- 平均值及 3σ标准差
模式7(Nikon):四组目标曝光分析
- 4组不同目标能量值:
- Set 1:400 mj/cm²
- Set 2:200 mj/cm²
- Set 3:100 mj/cm²
- Set 4:50 mj/cm²
- 每组测量2~10次,计算:
- 平均值
- 3σ标准差
- 最大-最小值范围
- 各读数与目标值的偏差率(%)
模式8(Nikon):光源均匀性测试
- 9次快门曝光(≥1秒/次),测量 强度(mw/cm²)
- 显示:
- 9组数据
- 平均值
- 各数据点相对于平均值的 偏差率(%)
- 最大值 & 最小值
电源与续航
- 内置可充电电池:续航约18小时
- 充电时间:6小时(关机充电,LED指示灯充满后熄灭)
- 低电量提示:显示屏 RST(复位) 旁显示电池符号(剩余约30分钟电量)
- 充电器:
- 全球电压(90-240V AC,47-63Hz)
- UL / CE / TUV认证
物理参数
- 尺寸:146mm(长) × 210mm(宽) × 51mm(高)
- 外壳材质:铝合金
适用探头波长
- 220nm ~ 540nm+(可扩展至红外波段)