GCI E84仿真器是全球范围内最先进的测试工具,专门用于那些需要符合SEMI® E84™标准的产品在开发、制造和检测过程中的测试。它所提供的自动化测试方案符合行业标准,被全球所有的300毫米圆晶厂及设备制造商所采用。GCI E84仿真器是唯一能够确保300毫米圆晶厂自动化系统之间实现良好互操作的解决方案。

E84仿真器提供了用于测试各种有源及无源设备中并行输入/输出控制信号的自动化测试流程。SEMI® E84™标准规定了在晶圆制造过程中,自动物料搬运系统与生产设备之间进行数据传输时所使用的控制信号规范。
E84模拟器通过USB连接方式与基于Microsoft® Windows操作系统的笔记本电脑或台式电脑相连。该模拟器应用程序兼容Windows XP、Windows 10和Windows 11操作系统。
该系统提供了图形用户界面,支持自动和手动测试模式,可用于主动式和被动式的仿真测试。在自动测试模式下,操作员需要输入相关数据,包括操作员姓名、测试日期以及设备信息等。
“主动模式测试套件”用于验证工艺设备中E84接口的功能是否正常。共有20项主动模式测试项目,操作员可以根据需要单独启用或禁用这些测试。此外,还有类似的“被动模式测试套件”,可用于检测输送系统的相关性能。
在主动模式下进行的静态测试要求操作员确认:每个接口处都有相应的标记好的DB-25连接器,并且必须有相关的错误处理说明文档。此外,还可以选择显示所需DB-25连接器的标记位置图示。
主动模式下的功能测试旨在验证设备在单次切换过程中的负载与卸载情况。有多项测试用于确认设备能够妥善处理与“切换可用”状态相关的问题。另有五项测试专门用于模拟五种常见的TP超时错误情况。四项测试则用于验证被动设备的端口传感器的性能。其他测试则着眼于检验设备的紧急停止功能,以及确保其能正常接收E84+24V的供电电压。对于各项测试所涉及的控制信号时序图,用户可以根据需要查看。

在自动测试模式下,可以随时保存测试计划和测试结果。所保存的文件为便于打印的ASCII文本格式。该文本中包含了操作员输入的所有设备信息,以及E84仿真应用程序提供的各项测试相关数据。测试详情包括测试名称、测试结果、故障提示信息,还有用户在测试过程中输入的任何备注。此外,保存下来的测试计划还可以被重新调用,以便继续进行测试。
手动测试模式提供了一个菜单,用户可以通过该菜单来切换并行输出信号的状态,同时还能持续查看并行输入信号的状态。