终极解决方案:快速定位并修复E84交接故障
现场技术人员和设备业主的完美工具
这款革命性的记录设备能精准捕捉导致E84交接失败的信号异常、中断和干扰问题。作为新一代便携式记录仪,它可直接嵌入被动设备与PI/O光模块之间,将E84握手信号完整记录至非易失性存储器中。
Get Control E84 DLD数据记录仪核心优势:
内置存储器可存储超过50次FOUP交接数据
启用智能诊断过滤功能时,设备将自动忽略成功交接,仅记录失败案例
标配GCI行业领先的E84分析软件,实现深度故障诊断
300mm晶圆厂自动化标配工具
在300mm半导体制造产线中,标准装载端口通过集成E84电气接口与自动化物料搬运系统(AMHS)进行晶圆传输。GCI E84数据记录仪(DLD)提供非侵入式监测方案,可完整记录300mm物料交接的E84握手信号。结合E84分析软件,该设备成为不间断生产流程下捕获、分析和解决交接问题的必备工具。
Get Control E84 DLD数据记录仪特点:
即插即用:直接连接设备与光模块,无需外接电源
非侵入式传感E84接口信号
非易失性存储器记录50+次交接操作
所有数据带时间戳标记
支持上传至PC及GCI E84手持测试仪
循环记录功能始终保留最近数据
支持手持测试仪与PC端实时绘图
完全兼容GCI E84分析软件
仅记录失败交接案例
首次有效装载/卸载后仅记录故障
自动统计成功/失败交接次数