Get Control 三轴加速度计测试工具（Vib Tool）
AMHS和输送机制造商利用三轴加速度计测试工具来在其系统的开发、安装和维护过程中量化和确认振动特性。这种行业标准工具被200mm和300mm的晶圆厂用来测量由其物料处理系统对晶圆批次引起的振动。通过检测轨道错位的早期迹象，系统可以进行维护以最小化对晶圆批次造成的振动。三轴加速度计测试工具可以作为独立单元使用，也可以与GCI信息中心配合使用，通过AMHS车辆提供的位置数据进行自动记录。
Get Control 三轴加速度计测试工具为AMHS供应商和最终用户提供了精确的振动测量解决方案。Get Control 三轴加速度计测试工具在自动或手动运输过程中同时获取和记录X、Y和Z轴上的振动数据。
Get Control 三轴加速度计测试工具由电池供电且自包含。适配板包括在内，可将该工具牢固安装在300mm FOUP内。对于200mm应用，可以订购可选的安装板，将该工具牢固安装在200mm晶圆载具内。LCD显示屏和键盘提供对配置选项的访问。
Get Control 三轴加速度计测试工具特点：
轴：X、Y和Z
测量：频率DC至150Hz，振动0.03g至2.00g（±0.01g）
电池/充电器：可充电的镍氢电池组/先进的电池充电电路/锂电池提供静态RAM备份-长达10年寿命（工作时间）/电量感应器带有警告指示灯。
数据分析类型：RMS/峰值/RMS和峰值/RMS、峰值和频率/RMS、峰值、频率、真RMS和N
用户界面：2×16字符LCD/4键键盘
Flash PROM：存储系统固件/可通过GCI的固件文件轻松升级
内部microSD卡：存储录音会话/存储容量允许进行数百个（取决于录音长度）单独的时间戳记录会话
RS-232接口：提供一个RS-232端口，用于将记录的数据下载到主机PC。
