E84数据记录设备(DLD)
——现场技术人员与设备所有者快速定位并解决E84信号异常、中断及干扰的终极方案
产品概述
这款新一代紧凑型记录设备可直接串联在被动设备与PI/O光模块之间,通过非易失性存储器捕获完整的E84握手信号。其核心优势包括:
内置存储容量可记录超过50次FOUP交接过程
可选诊断过滤模式(仅记录失败交接)
标配GCI行业领先的E84分析应用软件
应用场景
在300mm半导体晶圆厂中,自动化物料搬运系统(AMHS)通过集成E84电气接口的标准装载端口与工艺设备传输晶圆盒。E84 DLD提供非侵入式监控方案,可实时记录300mm物料交接的E84握手信号,配合分析软件实现生产流不间断的故障诊断。
核心特性
即插即用:直接连接设备与光模块之间
自供电:从E84 +24V电源获取工作电流(10mA)
非侵入式信号感知
带时间戳的环形存储(优先保留最近记录)
实时信号图形化显示(支持PC端与手持测试仪)
智能记录模式:
▸ 仅记录失败交接
▸ 首次有效装载/卸载后仅记录异常
▸ 成功/失败交接统计
安装指南
断开设备顶部光模块的DB-25连接器
将DLD标有”装载端口”的DB-25公头接入设备
将光模块DB-25接入DLD标有”光模块”的母头
通过串口配置后即可开始自动记录
技术规格
供电:E84 +24V电源(10mA)
接口:RS-232串行通信
采样率:500Hz(19个输入通道)
尺寸:96.5×53.3×20.3mm
接口类型:DB-25公头(主动)/母头(被动)
标准配置
E84数据记录设备主机
6英尺DB-9串行线缆(公对母)
用户手册