E84仿真器——现已兼容Windows 10!
GCI E84仿真器
GCI E84仿真器是全球领先的测试工具,专为开发、实施和认证符合SEMI® E84™标准的产品而设计。它提供行业标准化的自动化测试方案,被全球所有300mm晶圆厂和设备制造商采用。GCI E84仿真器是唯一能确保300mm工厂自动化互操作性的解决方案。
E84仿真器通过自动化流程,测试主动与被动实体的并行输入/输出(PI/O)控制信号。SEMI® E84™标准定义了晶圆制造设施中自动化物料搬运系统(AMHS)与生产设备间传输时使用的控制信号。
E84仿真器通过USB接口连接至基于Microsoft® Windows的笔记本电脑或台式机,其配套应用程序兼容Windows XP、7及10操作系统。
仿真器提供图形用户界面(GUI),支持主动与被动仿真的自动及手动测试模式。在自动测试模式下,操作员需输入姓名、测试日期及设备信息。
主动模式测试套件用于验证工艺设备E84接口的行为,包含20项可单独启用的测试项目。针对传输系统测试,还提供类似的被动模式测试套件。
静态测试要求操作员确认每个装载端口均配有标记的DB-25插头,并备有错误恢复文档。测试界面可选择性显示DB-25连接器的标记图示与位置要求。
功能测试用于验证单次交接的装载与卸载周期:
多项测试验证设备是否正确处理”交接就绪”信号;
5项测试强制触发标准TP超时错误;
4项测试验证被动设备端口传感器的行为;
其他测试涵盖急停功能及E84要求的+24V供电电压。
测试过程中可选择性显示各类控制信号的时序图。
在自动测试模式下,测试方案与结果可选择性地保存。保存的文件包含一个可打印的ASCII格式文本文件,内容涵盖:
设备信息:操作员输入的全部设备数据;
测试报告:由E84仿真器应用程序提供的每项测试详情,包括:
测试标题
通过/失败结果
故障提示信息
测试过程中用户添加的备注
断点续测:已保存的测试方案可重新载入以继续未完成的测试。
手动测试模式则提供菜单选项,允许用户:
主动控制:自由切换并行输出信号的状态;
实时监控:界面持续显示并行输入信号的当前状态。